[發(fā)明專利]一種用于EUV光源的熔融液滴發(fā)生裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110017947.3
• 申請日: 2021-01-07
• 公開（公告）號: CN112540513A
• 公開（公告）日: 2021-03-23
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 孫海軼;王成;王關(guān)德;李學(xué)紅;鄒家杰;劉科;冷雨欣;翟騰飛
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機械研究所;山東愛特機電技術(shù)有限責(zé)任公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;H05G2/00;H05B3/40
• 代理公司: 山東濟南齊魯科技專利事務(wù)所有限公司 37108
• 代理人: 鄭向群

1.一種用于EUV光源的熔融液滴發(fā)生裝置，包括壓緊螺母（3）、高速噴頭（4）、本體（1）及內(nèi)腔體（2），其特征在于：所述的本體（1）包括導(dǎo)熱油輸入口、導(dǎo)熱油輸出口（101）、內(nèi)腔（102）、加熱腔（103）及電加熱棒（104），所述的本體（1）外壁下部設(shè)有導(dǎo)熱油輸入口，與導(dǎo)熱油輸入口相對的本體（1）一側(cè)上部設(shè)有導(dǎo)熱油輸出口（101）；所述的本體（1）設(shè)有夾層，且夾層為加熱腔（103），所述的加熱腔（103）內(nèi)填充有導(dǎo)熱油，電加熱棒（104）一端延伸至所述的加熱腔（103）的導(dǎo)熱油內(nèi)，所述的電加熱棒（104）另一端通過螺母固定在本體（1）頂部；所述的本體（1）內(nèi)部中空，且中空處為內(nèi)腔（102），所述的內(nèi)腔（102）內(nèi)安裝有內(nèi)腔體（2）；所述的內(nèi)腔體（2）包括頂蓋（201）、密封圈A（202）、固定帽（203）、壓緊彈簧（204）、過濾帽（205）及輸出通道（206），所述的頂蓋（201）通過密封圈A（202）與內(nèi)腔體（2）頂部螺紋連接，所述的內(nèi)腔體（2）內(nèi)壁設(shè)有凹槽，且固定帽（203）安裝在所述的凹槽內(nèi)，所述的固定帽（203）頂部與頂蓋（201）底部接觸，固定帽（203）底部為U型槽，所述的U型槽內(nèi)固定有壓緊彈簧（204），所述的壓緊彈簧（204）底部為過濾帽（205），所述的過濾帽（205）下部與內(nèi)腔體（2）內(nèi)的凹槽固定連接，過濾帽（205）底部連通有輸出通道（206），且輸出通道（206）設(shè)在內(nèi)腔體（2）內(nèi)，所述的輸出通道（206）與高速噴頭（4）連接，所述的高速噴頭（4）通過密封圈B（5）與壓緊螺母（3）連接，所述的壓緊螺母（3）通過螺紋固定在本體（1）底部。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于EUV光源的熔融液滴發(fā)生裝置，其特征在于：所述的密封圈A（202）及密封圈B（5）為金屬密封圈。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于EUV光源的熔融液滴發(fā)生裝置，其特征在于：所述的電加熱棒（104）為2個。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于EUV光源的熔融液滴發(fā)生裝置，其特征在于：所述的過濾帽（205）為不銹鋼。

5.根據(jù)權(quán)利要求1或4 所述的一種用于EUV光源的熔融液滴發(fā)生裝置，其特征在于：所述的過濾帽（205）的過濾孔徑在40微米以下。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于EUV光源的熔融液滴發(fā)生裝置，其特征在于：所述的內(nèi)腔體（2）為不銹鋼，且內(nèi)腔體（2）內(nèi)壁涂敷導(dǎo)熱納米涂層。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于EUV光源的熔融液滴發(fā)生裝置，其特征在于：所述的本體（1）為不銹鋼。

8.根據(jù)權(quán)利要求1或7所述的一種用于EUV光源的熔融液滴發(fā)生裝置，其特征在于：所述的本體（1）內(nèi)壁涂敷導(dǎo)熱納米涂層。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種用于EUV光源的熔融液滴發(fā)生裝置，其特征在于：所述的本體（1）外壁涂敷絕熱納米涂層。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于EUV光源的熔融液滴發(fā)生裝置，其特征在于：所述的高速噴頭（4）利用壓電陶瓷配合柔性毛細管實現(xiàn)高速開合。