[發明專利]確定待測器件傾角輻照注量的方法、裝置及電子設備

有效

• 申請號: 202110010346.X
• 申請日: 2021-01-05
• 公開（公告）號: CN112817033B
• 公開（公告）日: 2021-11-23
• 發明（設計）人: 殷倩;郭剛;劉建成;張艷文;覃英參;肖舒顏;楊新宇
• 申請（專利權）人: 中國原子能科學研究院
• 主分類號: G01T1/29
• 分類號: G01T1/29
• 代理公司: 北京市創世宏景專利商標代理有限責任公司 11493
• 代理人: 王鵬鑫

1.一種確定待測器件傾角輻照注量的方法，其特征在于，包括：

確定當前位置的待測器件的水平位置坐標；

獲取注量率與位置坐標的函數關系；以及

根據所述注量率與位置坐標的函數關系以及所述當前位置的待測器件的水平位置坐標確定所述當前位置的待測器件的注量率，進而確定輻照至所述待測器件表面的總注量；

其中，所述確定待測器件的水平位置坐標包括：

在傾角輻照過程中，基于布置的輻照光路的元件，確定初始位置的待測器件的水平位置坐標、所述待測器件與旋轉軸的距離以及預設角度θ；其中，所述元件包括：輻照源器件和待測器件，所述待測器件由初始位置繞著待測器件外部設置的所述旋轉軸旋轉并平移之后變化至當前位置，所述預設角度θ為所述當前位置的待測器件的表面與所述初始位置的待測器件的表面之間的夾角，所述初始位置的待測器件與所述輻照源器件的粒子束流的出射方向垂直，所述輻照源器件出射的粒子束流能夠輻照于所述初始位置和所述當前位置的待測器件表面；

根據所述初始位置的待測器件的水平位置坐標、所述待測器件與所述旋轉軸的距離以及所述預設角度θ確定所述當前位置的待測器件的水平位置坐標，其中，所述初始位置的待測器件的水平位置坐標和所述當前位置的待測器件的水平位置坐標相對于同一個位置參考零點。

2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述根據所述初始位置的待測器件的水平位置坐標、所述待測器件與所述旋轉軸的距離以及所述預設角度θ確定所述當前位置的待測器件的水平位置坐標，包括：

根據所述待測器件與所述旋轉軸的距離以及所述預設角度θ確定所述待測器件由初始位置變化至當前位置的位置變化量；以及

根據所述位置變化量與所述初始位置的待測器件的水平位置坐標確定所述當前位置的待測器件的水平位置坐標。

3.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述待測器件由初始位置繞著待測器件外部設置的所述旋轉軸旋轉并平移之后變化至當前位置，包括：

所述待測器件安裝于一樣品架上，所述待測器件與所述樣品架的表面具有預設距離，所述樣品架與一支撐臺通過一可伸縮的連接部進行連接，所述樣品架上用于與所述連接部連接的部分作為所述旋轉軸；

所述樣品架帶動所述待測器件由初始位置繞著所述旋轉軸旋轉預定角度并且由所述連接部通過伸縮變化預定高度之后，使得所述待測器件由初始位置變化至當前位置。

4.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，以所述輻照源器件的粒子束流的出射方向作為x軸方向，高度方向作為y軸方向，與x-y平面垂直的方向為z軸方向，所述待測器件由初始位置繞著待測器件外部設置的所述旋轉軸旋轉的形式包括以下運動形式的至少一種：

繞著所述z軸方向發生的旋轉運動；

繞著所述y軸方向發生的旋轉運動。

5.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述獲取注量率與位置坐標的函數關系包括：

調用存儲的預先標定的注量率與位置坐標的函數關系；或者，

標定注量率與位置坐標的函數關系。

6.根據權利要求5所述的方法，其特征在于，所述標定注量率與位置坐標的函數關系包括：

基于布置的標定元件，所述標定元件包括：輻照源器件和探測器，調整所述探測器的高度和水平位置，使得所述探測器位于輻照源器件的出射路徑上，且所述探測器相對于所述位置參考零點分別位于N個不同的水平位置坐標處，N≥3；

測量所述探測器位于N個不同水平位置坐標處探測得到的注量率；以及

根據所述N個不同水平位置坐標處的注量率擬合得到注量率與位置坐標的函數關系；

其中，標定注量率與位置坐標的函數關系的束流條件與待測器件在輻照過程中的束流條件一致。

7.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述根據所述注量率與位置坐標的函數關系以及所述當前位置的待測器件的水平位置坐標確定所述當前位置的待測器件的注量率，包括：

將所述當前位置的待測器件的水平位置坐標作為自變量代入至所述注量率與位置坐標的函數關系中，得到的函數結果為所述當前位置的待測器件的注量率。