[發明專利]確定待測器件傾角輻照注量的方法、裝置及電子設備

有效

• 申請號: 202110010346.X
• 申請日: 2021-01-05
• 公開（公告）號: CN112817033B
• 公開（公告）日: 2021-11-23
• 發明（設計）人: 殷倩;郭剛;劉建成;張艷文;覃英參;肖舒顏;楊新宇
• 申請（專利權）人: 中國原子能科學研究院
• 主分類號: G01T1/29
• 分類號: G01T1/29
• 代理公司: 北京市創世宏景專利商標代理有限責任公司 11493
• 代理人: 王鵬鑫

本發明公開了一種確定待測器件傾角輻照注量的方法、裝置及電子設備，上述方法包括：確定當前位置的待測器件的水平位置坐標；獲取注量率與位置坐標的函數關系；以及根據注量率與位置坐標的函數關系以及當前位置的待測器件的水平位置坐標確定當前位置的待測器件的注量率，進而確定輻照至待測器件表面的總注量。上述方法可以實時輸出較為準確的注量率/注量結果。

技術領域

本公開屬于空間輻射技術領域，涉及一種確定待測器件傾角輻照注量的方法、裝置及電子設備。

背景技術

近年來隨著半導體技術的迅猛發展以及我國對太空探索腳步的進程，對高性能、高集成度電路的需求不斷加強。空間輻射單粒子效應是指單個空間高能帶電粒子擊中微電子器件靈敏部位，由于電離作用使得器件產生額外電荷或造成材料原子移位，其邏輯狀態改變或者功能受到干擾或失效的現象。空間輻射環境中存在各高能射線粒子，如質子、電子、α粒子或者重粒子等，這些高能射線或粒子入射到半導體器件中時會發生單粒子效應，導致器件失效。以質子為例，質子是空間環境中的重要組成部分，關于質子單粒子效應的研究已逐漸成為國內外輻射效應研究領域的重要方向。

目前，單粒子效應的研究方法主要有空間搭載飛行實驗、地面模擬實驗和計算機仿真計算等，對于電子學元器件敏感性的評估最常用地面模擬實驗。在宇宙空間中輻射粒子，例如質子從各個方向入射到電子學元器件表面，而在地面加速器模擬實驗過程中，質子入射角度對器件單粒子效應的影響研究還不充分。

由于國內加速器資源有限，輻射粒子，例如質子的單粒子效應的輻照方法尚在探索中，特別是在傾角輻照實驗過程中，改變入射角度后器件位置會發生改變，需要建立一種簡便快捷的方法能夠修正測試過程中由于位置改變引起的注量變化。

發明內容

(一)要解決的技術問題

本公開提供了一種確定待測器件傾角輻照注量的方法、裝置及電子設備，以至少部分解決以上所提出的技術問題。

(二)技術方案

本公開的第一個方面提供了一種確定待測器件傾角輻照注量的方法。上述方法中，確定當前位置的待測器件的水平位置坐標。獲取注量率與位置坐標的函數關系。根據注量率與位置坐標的函數關系以及當前位置的待測器件的水平位置坐標確定當前位置的待測器件的注量率，進而確定輻照至待測器件表面的總注量。

根據本公開的實施例，確定待測器件的水平位置坐標包括：在傾角輻照過程中，基于布置的輻照光路的元件，確定初始位置的待測器件的水平位置坐標、待測器件與旋轉軸的距離、以及預設角度θ。其中，上述元件包括：輻照源器件和待測器件，待測器件由初始位置繞著待測器件外部設置的旋轉軸旋轉并平移之后變化至當前位置，預設角度θ為當前位置的待測器件的表面與初始位置的待測器件的表面之間的夾角，初始位置的待測器件與輻照源器件的粒子束流的出射方向垂直，輻照源器件出射的粒子束流能夠輻照于初始位置和當前位置的待測器件表面。確定待測器件的水平位置坐標還包括：根據初始位置的待測器件的水平位置坐標、待測器件與旋轉軸的距離以及預設角度θ確定當前位置的待測器件的水平位置坐標。其中，初始位置的待測器件的水平位置坐標和當前位置的待測器件的水平位置坐標相對于同一個位置參考零點。預設角度θ滿足：0≤θ＜90°。

根據本公開的實施例，根據初始位置的待測器件的水平位置坐標、待測器件與旋轉軸的距離以及預設角度確定當前位置的待測器件的水平位置坐標，包括：根據待測器件與旋轉軸的距離以及預設角度確定待測器件由初始位置變化至當前位置的位置變化量；以及根據位置變化量與初始位置的待測器件的水平位置坐標確定當前位置的待測器件的水平位置坐標。