[發(fā)明專(zhuān)利]液劑涂布裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202080101276.2
• 申請(qǐng)日: 2020-07-09
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN115803121A
• 公開(kāi)（公告）日: 2023-03-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 成見(jiàn)健太;伊奈弘昭;皆川正太郎
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 株式會(huì)社富士
• 主分類(lèi)號(hào): B05C11/10
• 分類(lèi)號(hào): B05C11/10;B05C5/00
• 代理公司: 中原信達(dá)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11219
• 代理人: 楊青;安翔

液劑涂布裝置具備：相對(duì)于基板能夠上下移動(dòng)并且能夠在水平面方向上相對(duì)移動(dòng)的涂布嘴、切換進(jìn)行液劑向涂布嘴的供給的第一狀態(tài)和停止液劑向涂布嘴的供給的第二狀態(tài)的涂布閥及控制它們的控制裝置。控制裝置控制為涂布嘴從基板的上方向基板的預(yù)定位置下降，并且控制為在預(yù)定的供給開(kāi)始定時(shí)將涂布閥切換為第一狀態(tài)之后等待經(jīng)過(guò)預(yù)定時(shí)間而將涂布閥切換為第二狀態(tài)，并控制為在涂布嘴的前端到達(dá)下降端且涂布閥切換為第二狀態(tài)的定時(shí)以后涂布嘴上升。供給開(kāi)始定時(shí)由操作人員和/或控制裝置任意地設(shè)定。

技術(shù)領(lǐng)域

在本說(shuō)明書(shū)中，公開(kāi)一種液劑涂布裝置。

背景技術(shù)

以往，作為液劑涂布裝置，已知有具備涂布嘴和涂布閥的結(jié)構(gòu)。涂布嘴相對(duì)于基板能夠上下移動(dòng)并且能夠在水平面方向上相對(duì)移動(dòng)。涂布閥通過(guò)開(kāi)閉操作來(lái)進(jìn)行液劑向涂布嘴的供給及供給停止。在專(zhuān)利文獻(xiàn)1中，在這樣的液劑涂布裝置中，使涂布閥打開(kāi)的定時(shí)(開(kāi)閥定時(shí))成為從涂布嘴的前端處于下降端而涂布液劑的定時(shí)起回溯而始終相同的定時(shí)。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專(zhuān)利文獻(xiàn)1：日本特開(kāi)11-262713號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明所要解決的課題

然而，如上述那樣將開(kāi)閥定時(shí)設(shè)定為從涂布液劑的定時(shí)起回溯而始終相同的定時(shí)，因此有時(shí)會(huì)產(chǎn)生不良狀況。例如，在打開(kāi)涂布閥的時(shí)間較長(zhǎng)的情況下，產(chǎn)生涂布嘴的前端停留在下降端的等待時(shí)間，有時(shí)成為節(jié)拍(工序作業(yè)時(shí)間)增加的一個(gè)因素。另外，有時(shí)由于使涂布閥從打開(kāi)成為關(guān)閉之后的涂布嘴內(nèi)的殘留壓力的影響而液劑從涂布嘴的前端泄漏。

本公開(kāi)為了解決這樣的課題而作出，主要目的在于消除在涂布閥的開(kāi)閥定時(shí)恒定的情況下產(chǎn)生的不良狀況。

用于解決課題的技術(shù)方案

本公開(kāi)的液劑涂布裝置為了實(shí)現(xiàn)上述的主要目的而采取以下的方案。

本公開(kāi)的液劑涂布裝置具備：

涂布嘴，相對(duì)于基板能夠上下移動(dòng)并且能夠在水平面方向上相對(duì)移動(dòng)；

涂布閥，切換進(jìn)行液劑向上述涂布嘴的供給的第一狀態(tài)和停止液劑向上述涂布嘴的供給的第二狀態(tài)；及

控制裝置，控制為上述涂布嘴從上述基板的上方向上述基板的預(yù)定位置下降，并且控制為在預(yù)定的供給開(kāi)始定時(shí)將上述涂布閥切換為上述第一狀態(tài)之后等待經(jīng)過(guò)預(yù)定時(shí)間而將上述涂布閥切換為上述第二狀態(tài)，并控制為在上述涂布嘴的前端到達(dá)下降端且將上述涂布閥切換為上述第二狀態(tài)的定時(shí)以后上述涂布嘴上升，

上述供給開(kāi)始定時(shí)由操作人員和/或上述控制裝置任意地設(shè)定。

在該液劑涂布裝置中，供給開(kāi)始定時(shí)由操作人員和/或控制裝置任意地設(shè)定。這樣一來(lái)，能夠消除在涂布閥的供給開(kāi)始定時(shí)恒定的情況下產(chǎn)生的不良狀況。另外，作為液劑，例如可舉出粘性流體。

附圖說(shuō)明

圖1是液劑涂布裝置10的主要部分的立體圖。

圖2是表示涂布頭30的概略結(jié)構(gòu)的局部剖視圖。

圖3是表示與液劑涂布裝置10的控制相關(guān)的結(jié)構(gòu)的框圖。

圖4是粘接劑涂布程序的流程圖。

圖5是表示開(kāi)閥定時(shí)設(shè)定程序的一例的流程圖。

圖6是表示涂布頭30的動(dòng)作狀態(tài)的一例的時(shí)序圖。

圖7是表示涂布頭30的動(dòng)作狀態(tài)的一例的時(shí)序圖。

圖8是表示涂布頭30的動(dòng)作狀態(tài)的一例的時(shí)序圖。

具體實(shí)施方式