[發明專利]液劑涂布裝置在審
| 申請號: | 202080101276.2 | 申請日: | 2020-07-09 |
| 公開(公告)號: | CN115803121A | 公開(公告)日: | 2023-03-14 |
| 發明(設計)人: | 成見健太;伊奈弘昭;皆川正太郎 | 申請(專利權)人: | 株式會社富士 |
| 主分類號: | B05C11/10 | 分類號: | B05C11/10;B05C5/00 |
| 代理公司: | 中原信達知識產權代理有限責任公司 11219 | 代理人: | 楊青;安翔 |
| 地址: | 日本愛知*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 液劑 裝置 | ||
1.一種液劑涂布裝置,具備:
涂布嘴,相對于基板能夠上下移動并且能夠在水平面方向上相對移動;
涂布閥,切換進行液劑向所述涂布嘴的供給的第一狀態和停止液劑向所述涂布嘴的供給的第二狀態;及
控制裝置,控制為所述涂布嘴從所述基板的上方向所述基板的預定位置下降,并且控制為在預定的供給開始定時將所述涂布閥切換為所述第一狀態之后等待經過預定時間而將所述涂布閥切換為所述第二狀態,并控制為在所述涂布嘴的前端到達下降端且將所述涂布閥切換為所述第二狀態的定時以后所述涂布嘴上升,
所述供給開始定時由操作人員和/或所述控制裝置任意地設定。
2.根據權利要求1所述的液劑涂布裝置,其中,
所述供給開始定時以所述涂布嘴的前端到達下降端之后至開始所述涂布閥的上升為止的時間為零或者接近零的方式設定。
3.根據權利要求1所述的液劑涂布裝置,其中,
所述供給開始定時以所述涂布嘴的前端到達下降端之前經過所述預定時間的方式設定。
4.根據權利要求1所述的液劑涂布裝置,其中,
所述供給開始定時由所述控制裝置設定,
所述控制裝置將液劑的種類與供給開始定時建立了對應的對應關系預先存儲于存儲部,并基于使用的液劑的種類,根據所述對應關系來設定所述供給開始定時。
5.根據權利要求1所述的液劑涂布裝置,其中,
所述供給開始定時由所述控制裝置設定,
所述控制裝置在設定所述供給開始定時時,依次采用預先決定的多個暫定供給開始定時來判定所述涂布嘴對所述液劑的涂布情況,將所述液劑的涂布情況適當的所述暫定供給開始定時設定為所述供給開始定時。
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