[發明專利]感光性樹脂組合物、感光性樹脂組合物的分選方法、圖案固化膜的制造方法及半導體裝置的制造方法

在審

• 申請號: 202080097092.3
• 申請日: 2020-10-26
• 公開（公告）號: CN115151868A
• 公開（公告）日: 2022-10-04
• 發明（設計）人: 滿倉一行;今津裕貴;青木優;小峰卓也
• 申請（專利權）人: 昭和電工材料株式會社
• 主分類號: G03F7/26
• 分類號: G03F7/26;G01N3/32;G03F7/023;G03F7/20
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002
• 代理人: 白麗

1.一種感光性樹脂組合物的分選方法，其中，

以100～2000mJ/cm²對感光性樹脂組合物的樹脂膜進行曝光，在氮氣下以150～250℃進行1～3小時的熱處理，來制作膜厚10μm、寬度10mm的固化膜的長條樣品，

在設定溫度成為25℃、夾頭間距離成為20mm、試驗速度成為5mm/min、重復荷載的應力成為100MPa的條件下，進行重復拉伸所述長條樣品的疲勞試驗，

分選在所述疲勞試驗中直到所述長條樣品斷裂為止的拉伸次數為100循環以上的感光性樹脂組合物。

2.根據權利要求1所述的感光性樹脂組合物的分選方法，其中，

在設定溫度為25℃、夾頭間距離為20mm、試驗速度為5mm/min的條件下，對實施了100循環所述疲勞試驗后的長條樣品進行拉伸的拉伸試驗中的所述長條樣品的斷裂伸長率為10～60％。

3.根據權利要求2所述的感光性樹脂組合物的分選方法，其中，

所述拉伸試驗中的所述長條樣品的屈服應力為120～200MPa。

4.根據權利要求2或3所述的感光性樹脂組合物的分選方法，其中，

所述拉伸試驗中的所述長條樣品的楊氏模量為0.5～2.8GPa。

5.根據權利要求1至4中任一項所述的感光性樹脂組合物的分選方法，其中，

所述固化膜的玻璃化轉變溫度為150℃以上。

6.一種感光性樹脂組合物的分選方法，其中，

以100～2000mJ/cm²對感光性樹脂組合物的樹脂膜進行曝光，在氮氣下以150～250℃進行1～3小時的熱處理，來制作膜厚10μm、寬度10mm的固化膜的長條樣品，

在設定溫度成為-55℃、夾頭間距離成為20mm、試驗速度成為5mm/min、重復荷載的應力成為120MPa的條件下，進行重復拉伸所述長條樣品的疲勞試驗，

分選在所述疲勞試驗中直到所述長條樣品斷裂為止的拉伸次數為100循環以上的感光性樹脂組合物。

7.根據權利要求6所述的感光性樹脂組合物的分選方法，其中，

在設定溫度為25℃、夾頭間距離為20mm、試驗速度為5mm/min的條件下，對實施了100循環所述疲勞試驗后的長條樣品進行拉伸的拉伸試驗中的所述長條樣品的斷裂伸長率為10～60％。

8.根據權利要求7所述的感光性樹脂組合物的分選方法，其中，

所述拉伸試驗中的所述長條樣品的屈服應力為120～200MPa。

9.根據權利要求7或8所述的感光性樹脂組合物的分選方法，其中，

所述拉伸試驗中的所述長條樣品的楊氏模量為0.5～2.8GPa。

10.根據權利要求7至9中任一項所述的感光性樹脂組合物的分選方法，其中，

所述固化膜的玻璃化轉變溫度為150℃以上。

11.一種感光性樹脂組合物，其中，

以100～2000mJ/cm²對感光性樹脂組合物的樹脂膜進行曝光，在氮氣下以150～250℃進行1～3小時的熱處理，來制作膜厚10μm、寬度10mm的固化膜的長條樣品，在設定溫度成為25℃、夾頭間距離成為20mm、試驗速度成為5mm/min、重復荷載的應力成為100MPa的條件下，進行重復拉伸所述長條樣品的疲勞試驗時，直到所述長條樣品斷裂為止的拉伸次數為100循環以上。