[發明專利]具有通過基底板的保持特征的光罩盒

在審

• 申請號: 202080094430.8
• 申請日: 2020-12-09
• 公開（公告）號: CN115053185A
• 公開（公告）日: 2022-09-13
• 發明（設計）人: R·V·拉施克
• 申請（專利權）人: 恩特格里斯公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G03F1/66
• 代理公司: 北京律盟知識產權代理有限責任公司 11287
• 代理人: 李婷

本發明公開一種光罩盒，其包含：內部部分，其包含蓋及基底板；及外部部分，其包含盒圓頂及盒門。所述盒門包含閂鎖，及可經驅動以在操作所述閂鎖時移動的一或多個可移動柱。所述基底板包含可被所述可移動柱接觸的可移動光罩接觸件。所述可移動柱與所述可移動光罩接觸件之間的接觸使所述基底板中的所述可移動光罩接觸件移動朝向所述蓋。此移動可將光罩緊固于所述光罩盒內。

相關申請案的交叉引用

本申請案主張2019年12月24日申請的第62/953,326號美國臨時申請案的權益及優先權，所述申請案出于所有目的以引用的方式并入本文中。

技術領域

本公開涉及光罩盒，且更特定來說涉及包含用于將光罩保持在所要位置處的可移動光罩保持特征的光罩盒。

背景技術

光罩盒用于存放及運輸光罩以及處理，特定來說運輸光罩到處理工具(例如光刻裝置)且從所述處理工具運輸光罩。光罩盒包含(例如)配合極紫外(EUV)光刻工具使用的EUV盒。光罩盒經建構以減少及/或防止在光罩的移動、處置及處理期間對其中所容納的光罩的污染或物理損壞。光罩盒可包含外盒及所述外盒內的內盒。所述內盒可包含基底板及蓋，其容納光罩。外盒包含盒門及盒圓頂，所述盒圓頂容納所述內盒。

發明內容

本公開涉及光罩盒，其包含用于保持定位于基底板上的光罩的可移動保持特征。

可移動保持特征允許光罩牢固地定位于光罩盒內，且因此在處置或轉運期間較不易受震動影響。憑借通過定位于所述光罩盒的門中的閂鎖致動此類特征，光罩可在所述光罩盒的最終閉合之前恰當放置在盒內而無來自安全特征的干擾，且在閉合所述盒以用于運輸、存放或處理時被緊固。緊固所述光罩可限制或防止對所述光罩的損壞，包括震動事件、來自所述光罩與所述盒的內部的接觸的粒子產生及類似者。

一種光罩盒實施例包含內部部分，所述內部部分包含蓋及基底板。所述蓋包含結合到所述蓋的一或多個蓋光罩接觸件且所述基底板包含一或多個可移動光罩接觸件，所述一或多個可移動光罩接觸件各自經配置以在具有垂直于所述基底板的平面的分量的方向上移動。所述光罩盒包含外部部分，所述外部部分包括盒圓頂及盒門，其中所述盒門包含一或多個可移動柱及經配置以驅動所述一或多個可移動柱的一或多個閂鎖。當所述內部部分定位于所述外部部分內且所述盒門固定到所述盒圓頂時，所述一或多個可移動柱接觸所述一或多個可移動光罩接觸件，使得所述一或多個可移動光罩接觸件被移動朝向所述蓋。

在實施例中，所述一或多個可移動光罩接觸件中的每一者經由柔性部件保持于所述基底板中。

在實施例中，當所述柔性部件靜置時，所述可移動光罩接觸件與所述一或多個蓋光罩接觸件中的至少一者相距大于將存放于所述光罩盒中的光罩的厚度的距離。

在實施例中，所述一或多個閂鎖各自可在盒門的平面中的方向上移動。

在實施例中，所述一或多個閂鎖各自包含與一或多個可移動柱中的一者的表面接觸的滑動表面、搖臂或凸輪表面。

在實施例中，所述一或多個可移動光罩接觸件各自經配置以可在垂直于所述基底板的所述平面的方向上移動。

在實施例中，所述盒圓頂包含一或多個突出部，所述一或多個突出部在所述內部部分定位于所述外部部分內且所述盒門固定到所述盒圓頂時接觸所述蓋。

在實施例中，所述蓋光罩接觸件中的每一者包含聚合物材料。

在實施例中，所述可移動光罩接觸件中的每一者包含聚合物材料。

在實施例中，所述一或多個可移動光罩接觸件包含三個或更多個可移動光罩接觸件。

在實施例中，所述一或多個可移動光罩接觸件包含四個可移動光罩接觸件。