[發(fā)明專利]具有通過基底板的保持特征的光罩盒

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• 申請日: 2020-12-09
• 公開（公告）號: CN115053185A
• 公開（公告）日: 2022-09-13
• 發(fā)明（設計）人: R·V·拉施克
• 申請（專利權）人: 恩特格里斯公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G03F1/66
• 代理公司: 北京律盟知識產(chǎn)權代理有限責任公司 11287
• 代理人: 李婷

1.一種光罩盒，其包括：

內(nèi)部部分，其包含蓋及基底板，其中所述蓋包含經(jīng)結合到所述蓋的一或多個蓋光罩接觸件，且所述基底板包含一或多個可移動光罩接觸件，所述一或多個可移動光罩接觸件各自經(jīng)配置以能在具有垂直于所述基底板的平面的分量的方向上移動；及

外部部分，其包含盒圓頂及盒門，其中所述盒門包含一或多個可移動柱及經(jīng)配置以驅動所述一或多個可移動柱的一或多個閂鎖，

其中當所述內(nèi)部部分定位于所述外部部分內(nèi)且所述盒門固定到所述盒圓頂時，所述一或多個可移動柱接觸所述一或多個可移動光罩接觸件，使得所述一或多個可移動光罩接觸件被移動朝向所述蓋。

2.根據(jù)權利要求1所述的光罩盒，其中所述一或多個可移動光罩接觸件中的每一者經(jīng)由柔性部件保持于所述基底板中。

3.根據(jù)權利要求2所述的光罩盒，其中當所述柔性部件靜置時，所述可移動光罩接觸件與所述一或多個蓋光罩接觸件中的至少一者相距大于將被存放于所述光罩盒中的光罩的厚度的距離。

4.根據(jù)權利要求1所述的光罩盒，其中所述一或多個閂鎖各自能在所述盒門的平面中的方向上移動。

5.根據(jù)權利要求1所述的光罩盒，其中所述一或多個閂鎖各自包含與所述一或多個可移動柱中的一者的表面接觸的表面。

6.根據(jù)權利要求1所述的光罩盒，其中所述一或多個可移動光罩接觸件各自經(jīng)配置以能在垂直于所述基底板的所述平面的方向上移動。

7.根據(jù)權利要求1所述的光罩盒，其中所述盒圓頂包含一或多個突出部，所述一或多個突出部在所述內(nèi)部部分被定位于所述外部部分內(nèi)且所述盒門被固定到所述盒圓頂時接觸所述蓋。

8.根據(jù)權利要求1所述的光罩盒，其中所述蓋光罩接觸件中的每一者及所述可移動光罩接觸件中的每一者包含聚合物材料聚合物材料。

9.根據(jù)權利要求1所述的光罩盒，其中所述一或多個可移動光罩接觸件包含四個可移動光罩接觸件。

10.根據(jù)權利要求1所述的光罩盒，其中當所述蓋接合所述基底板時，所述一或多個可移動光罩接觸件中的每一者與所述一或多個蓋光罩接觸件中的一者相對。

11.根據(jù)權利要求1所述的光罩盒，其中當所述蓋接合所述基底板時，所述一或多個可移動光罩接觸件中的每一者從所述一或多個蓋光罩接觸件偏移。

12.一種在盒內(nèi)移動接觸件的方法，其包括：

通過將盒門附接到盒圓頂來啟動經(jīng)定位于所述盒門中的一或多個閂鎖；及

經(jīng)由所述一或多個閂鎖來驅動一或多個可移動柱，以在具有垂直于所述盒門的平面的分量的方向上延伸，

其中所述一或多個可移動柱中的每一者接觸經(jīng)定位于所述盒門及所述盒圓頂內(nèi)的基底板的可移動光罩接觸件，使得所述可移動光罩接觸件在朝向經(jīng)定位于所述盒門及所述盒圓頂內(nèi)的蓋的方向上移動。

13.根據(jù)權利要求12所述的方法，其中啟動所述一或多個閂鎖包括在平行于所述盒門的平面的一或多個方向上移動所述一或多個閂鎖。

14.根據(jù)權利要求12所述的方法，其中經(jīng)由所述一或多個閂鎖驅動所述可移動柱包括所述一或多個閂鎖中的每一者上的凸輪表面接觸所述一或多個可移動柱中的一者。

15.根據(jù)權利要求12所述的方法，其進一步包括：將光罩放置于所述盒的基底板上；將所述盒的所述基底板結合到所述盒的蓋；及將所述經(jīng)結合的基底板及蓋放置于所述盒圓頂內(nèi)的空間中。

16.根據(jù)權利要求15所述的方法，其中所述經(jīng)結合的基底板及蓋在被放置于所述盒圓頂內(nèi)時與來自所述盒圓頂?shù)囊换蚨鄠€突出部接觸。