[發(fā)明專利]料盒系統(tǒng)在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202080076565.1 | 申請(qǐng)日: | 2020-10-28 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN114641853A | 公開(kāi)(公告)日: | 2022-06-17 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 托爾斯滕·費(fèi)格拉恩;于爾根·萊納 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 亞席斯自動(dòng)化系統(tǒng)有限公司 |
| 主分類號(hào): | H01L21/673 | 分類號(hào): | H01L21/673 |
| 代理公司: | 北京高沃律師事務(wù)所 11569 | 代理人: | 張德才 |
| 地址: | 德國(guó)多*** | 國(guó)省代碼: | 暫無(wú)信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 系統(tǒng) | ||
本發(fā)明涉及一種用于平面基板、尤其是晶片、太陽(yáng)能電池或印刷電路板的生產(chǎn)線的料盒系統(tǒng)(1),包括至少一個(gè)基板料盒(2),該基板料盒具有兩個(gè)彼此相對(duì)布置且垂直定向的側(cè)壁(3、4)以及在側(cè)壁(3、4)之間構(gòu)成一個(gè)或多個(gè)基板可插入的多個(gè)隔間(10),每個(gè)隔間具有兩個(gè)導(dǎo)軌(11),這兩個(gè)導(dǎo)軌間隔且相互平行地布置于側(cè)部(3、4)上。所述料盒系統(tǒng)(1)針對(duì)每個(gè)側(cè)壁(3、4)具有至少一個(gè)轉(zhuǎn)接板(12、13),相應(yīng)的轉(zhuǎn)接板(12、13)具有緊固機(jī)構(gòu),用于可脫離地緊固至所述側(cè)壁(3、4)之一,轉(zhuǎn)接板(12、13)各在一側(cè)具有一個(gè)或多個(gè)承軌(18),該承軌在緊固至側(cè)壁(3、4)的狀態(tài)下共同形成各用于基板堆疊的支撐件(20)。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及一種用于平面基板、尤其是晶片、太陽(yáng)能電池或印刷電路板的生產(chǎn)線的料盒系統(tǒng),包括至少一個(gè)基板料盒,該基板料盒具有兩個(gè)彼此相對(duì)布置且垂直定向的側(cè)壁以及在側(cè)壁之間構(gòu)成一個(gè)或多個(gè)基板可插入的多個(gè)隔間,其中,每個(gè)隔間具有兩個(gè)導(dǎo)軌,這兩個(gè)導(dǎo)軌間隔且相互平行地布置于側(cè)部上。
背景技術(shù)
現(xiàn)有技術(shù)中已揭示了上述類型的料盒系統(tǒng)。在晶片、太陽(yáng)能電池、印刷電路板或其他平面基板的生產(chǎn)中,時(shí)常將基板放置到基板料盒中以便臨時(shí)存儲(chǔ)或運(yùn)輸。在此情形下,最初制造基板料盒的方式是,兩個(gè)相對(duì)的側(cè)壁上分別布置有若干相互平行排列的導(dǎo)軌,這些導(dǎo)軌在高度上彼此間隔,相應(yīng)兩個(gè)位于一個(gè)高度上的導(dǎo)軌布置于相對(duì)的側(cè)壁上,共同形成用于基板的隔間。在導(dǎo)軌上很容易將基板插進(jìn)基板料盒中,通過(guò)滑移又可再次將其從基板料盒中取出。專利申請(qǐng)DE 10 2019 211 603(尚未公布)也揭示了一種基板料盒,其中多個(gè)基板可以有利地彼此并置于隔間中。為此,導(dǎo)軌各自關(guān)聯(lián)有卡鎖機(jī)構(gòu),該卡鎖機(jī)構(gòu)位于基板沿著導(dǎo)軌的運(yùn)動(dòng)路徑中,通過(guò)基板可使其在彈性變形下從運(yùn)動(dòng)路徑中移出。基板即可在導(dǎo)軌上滑移,可通過(guò)施加相應(yīng)的推力來(lái)克服卡鎖元件。通過(guò)卡鎖元件可以確保基板不會(huì)意外沿著導(dǎo)軌滑移。這尤能防止無(wú)意中將相鄰的基板相互推疊,例如在傳送基板料盒的過(guò)程中。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提出一種改進(jìn)的料盒系統(tǒng),允許料盒系統(tǒng)具有更高的靈活性和可用性。
為了達(dá)成上述目的,本發(fā)明提供了一種具有權(quán)利要求1所述特征的料盒系統(tǒng)。其優(yōu)勢(shì)在于,上述料盒系統(tǒng)可作調(diào)適,使得該料盒系統(tǒng)不僅可用作平坦基板的存儲(chǔ)位置,而且還可用作基板堆疊的存儲(chǔ)位置,即,大量相互堆疊的基板。通過(guò)根據(jù)本發(fā)明的料盒系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)了可以輕松簡(jiǎn)單地對(duì)現(xiàn)有的基板料盒進(jìn)行調(diào)適,即可以在接納單個(gè)基板的操作與接納基板堆疊的操作之間進(jìn)行切換。根據(jù)本發(fā)明,所述料盒系統(tǒng)針對(duì)每個(gè)側(cè)壁具有至少一個(gè)轉(zhuǎn)接板,其中相應(yīng)的轉(zhuǎn)接板具有緊固機(jī)構(gòu),用于可脫離地緊固至側(cè)壁之一,其中轉(zhuǎn)接板各在一側(cè)具有一個(gè)或多個(gè)承軌,這些承軌在緊固至側(cè)壁的狀態(tài)下共同形成各用于基板堆疊的支撐件。側(cè)壁即可通過(guò)轉(zhuǎn)接板適配為接納基板堆疊。為此,轉(zhuǎn)接板可脫離地緊固至側(cè)壁上,又具有承軌。在轉(zhuǎn)接板的組裝狀態(tài)下,這些承軌彼此相對(duì)地在側(cè)壁上處于相同的高度,從而它們共同形成對(duì)基板堆疊的支撐。這允許基板料盒適應(yīng)于單個(gè)基板或基板堆疊,僅需少數(shù)幾個(gè)輔助工具和少數(shù)幾個(gè)步驟。
根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選改進(jìn)方案,每個(gè)轉(zhuǎn)接板具有至少一個(gè)組裝鉤,用于懸掛在相應(yīng)側(cè)壁上。懸掛相應(yīng)的轉(zhuǎn)接板允許輕松地組裝在側(cè)壁上并穩(wěn)固保持。另外,懸掛還允許通過(guò)將組裝鉤從相應(yīng)的側(cè)壁上解開(kāi)而輕松地拆卸轉(zhuǎn)接板。根據(jù)某一實(shí)施例,省去額外的緊固機(jī)構(gòu)。
根據(jù)本發(fā)明另一實(shí)施例,作為上述組裝鉤的補(bǔ)充或替代,每個(gè)轉(zhuǎn)接板具有至少一個(gè)可彈性移位的卡鎖元件,用于以形狀配合方式鎖定在側(cè)壁上。卡鎖元件能夠可靠地防止從相應(yīng)的側(cè)壁上意外松脫。有別于鉤掛,使用卡鎖元件還允許簡(jiǎn)單的平移組裝接合或組裝運(yùn)動(dòng),而鉤掛卻需要轉(zhuǎn)接板的樞轉(zhuǎn)。根據(jù)基板料盒的結(jié)構(gòu)空間或構(gòu)型,純平移的組裝運(yùn)動(dòng)可能更具優(yōu)勢(shì)。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過(guò)程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過(guò)程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過(guò)程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





