[發明專利]MEMS致動系統

在審

• 申請號: 202080065206.6
• 申請日: 2020-09-18
• 公開（公告）號: CN114503421A
• 公開（公告）日: 2022-05-13
• 發明（設計）人: 馬修·恩格;劉曉蕾;王桂芹
• 申請（專利權）人: 麥斯卓有限公司
• 主分類號: H02N1/00
• 分類號: H02N1/00;G02B13/00;G02B7/09;G03B13/32;G03B17/00;H01L41/09
• 代理公司: 北京高文律師事務所 11359
• 代理人: 王冬;馬曉田

本發明公開了一種被配置為提供多軸移動的多軸MEMS組件，該多軸MEMS組件包括：第一平面內MEMS致動器，被配置為能夠沿至少X軸移動；以及第二平面內MEMS致動器，被配置為能夠沿至少Y軸移動；其中，第一平面內MEMS致動器被耦合至第二平面內MEMS致動器。

本申請要求2019年9月20日提交的第62/903，207號美國臨時申請的權益，其內容通過引用并入本申請。

技術領域

本公開總體涉及致動器，更具體地，涉及配置用于相機封裝內的小型化MEMS致動器。

背景技術

如本領域所公知的，致動器可用于將電子信號轉換成機械運動。在諸如便攜式設備、成像相關設備、電信組件和醫療儀器的許多應用中，將微型致動器適配在尺寸小、功率低和成本有限的這些應用內可以是有益的。

微機電系統(MEMS)技術在其最通常形式中可以被定義為使用微加工技術制造的小型化機械和機電元件的技術。MEMS器件的關鍵尺寸可以從遠低于1微米變化到幾毫米。通常，MEMS致動器比傳統致動器更緊湊，并且它們消耗更少的功率。

發明內容

在一個實施方式中，一種被配置為提供多軸移動的多軸MEMS組件，該多軸MEMS組件包括：第一平面內MEMS致動器，被配置為能夠沿至少X軸移動；第二平面內MEMS致動器，被配置為能夠沿至少Y軸移動；其中，第一平面內MEMS致動器與第二平面內MEMS致動器耦合。

以下特征的一個或多個可以被包括。第一平面內MEMS致動器還可以被配置為能夠沿Y軸移動。第二平面內MEMS致動器還可以被配置為能夠沿X軸移動。第一平面內MEMS致動器和第二平面內MEMS致動器可以形成一種堆疊式多軸微機電系統(MEMS)致動器。第一平面內MEMS致動器和第二平面內MEMS致動器中的一個可以被定位在第一平面內MEMS致動器和第二平面內MEMS致動器中的另一個的上方。第一平面內MEMS致動器和第二平面內MEMS致動器可以形成一種級聯式多軸微機電系統(MEMS)致動器。第一平面內MEMS致動器和第二平面內MEMS致動器中的一個被定位在第一平面內MEMS致動器和第二平面內MEMS致動器中的另一個的旁邊。第一平面內MEMS致動器和第二平面內MEMS致動器中的至少一個可以是靜電MEMS致動器。第一平面內MEMS致動器和第二平面內MEMS致動器中的至少一個可以是電磁MEMS致動器。第一平面內MEMS致動器和第二平面內MEMS致動器中的至少一個可以是壓電MEMS致動器。第一平面內MEMS致動器和第二平面內MEMS致動器中的至少一個可以是圖像穩定致動器。光電器件可以與第一平面內MEMS致動器和第二平面內MEMS致動器中的一個耦合。

在另一個實施方式中，一種被配置為提供多軸移動的多軸MEMS組件，該多軸MEMS組件包括：第一平面內MEMS致動器，被配置為能夠沿至少X軸移動；第二平面內MEMS致動器，被配置為能夠沿至少Y軸移動；光電器件，與第一平面內MEMS致動器和第二平面內MEMS致動器中的一個耦合；其中，第一平面內MEMS致動器與第二平面內MEMS致動器耦合；其中，第一平面內MEMS致動器和第二平面內MEMS致動器形成堆疊式多軸微機電系統(MEMS)致動器。

以下特征的一個或多個可以被包括。第一平面內MEMS致動器和第二平面內MEMS致動器中的至少一個可以是靜電MEMS致動器。第一平面內MEMS致動器和第二平面內MEMS致動器中的至少一個可以是電磁MEMS致動器。第一平面內MEMS致動器和第二平面內MEMS致動器中的至少一個可以是壓電MEMS致動器。

在再一個實施方式中，一種被配置為提供多軸移動的多軸MEMS組件，該多軸MEMS組件包括：第一平面內MEMS致動器，被配置為能夠沿至少X軸移動；第二平面內MEMS致動器，被配置為能夠沿至少Y軸移動；光電器件，與第一平面內MEMS致動器和第二平面內MEMS致動器中的一個耦合；其中，第一平面內MEMS致動器與第二平面內MEMS致動器耦合；其中，第一平面內MEMS致動器和第二平面內MEMS致動器形成級聯式多軸微機電系統(MEMS)致動器。