[發明專利]MEMS致動系統在審
| 申請號： | 202080065206.6 | 申請日： | 2020-09-18 |
| 公開（公告）號： | CN114503421A | 公開（公告）日： | 2022-05-13 |
| 發明（設計）人： | 馬修·恩格;劉曉蕾;王桂芹 | 申請（專利權）人： | 麥斯卓有限公司 |
| 主分類號： | H02N1/00 | 分類號： | H02N1/00;G02B13/00;G02B7/09;G03B13/32;G03B17/00;H01L41/09 |
| 代理公司： | 北京高文律師事務所 11359 | 代理人： | 王冬;馬曉田 |
| 地址： | 美國加利*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | mems 系統 | ||
1.一種被配置為提供多軸移動的多軸MEMS組件，所述多軸MEMS組件包括：
第一平面內MEMS致動器，被配置為能夠沿至少X軸移動；以及
第二平面內MEMS致動器，被配置為能夠沿至少Y軸移動；
其中，所述第一平面內MEMS致動器被耦合至所述第二平面內MEMS致動器。
2.根據權利要求1所述的多軸MEMS組件，其中，所述第一平面內MEMS致動器還被配置為能夠沿所述Y軸移動。
3.根據權利要求1所述的多軸MEMS組件，其中，所述第二平面內MEMS致動器還被配置為能夠沿所述X軸移動。
4.根據權利要求1所述的多軸MEMS組件，其中，所述第一平面內MEMS致動器和所述第二平面內MEMS致動器形成堆疊式多軸微機電系統(MEMS)致動器。
5.根據權利要求4所述的多軸MEMS組件，其中，所述第一平面內MEMS致動器和所述第二平面內MEMS致動器中的一個被定位在所述第一平面內MEMS致動器和所述第二平面內MEMS致動器中的另一個的上方。
6.根據權利要求1所述的多軸MEMS組件，其中，所述第一平面內MEMS致動器和所述第二平面內MEMS致動器形成級聯式多軸微機電系統(MEMS)致動器。
7.根據權利要求6所述的多軸MEMS組件，其中，所述第一平面內MEMS致動器和所述第二平面內MEMS致動器中的一個被定位在所述第一平面內MEMS致動器和所述第二平面內MEMS致動器中的另一個的旁邊。
8.根據權利要求1所述的多軸MEMS組件，其中，所述第一平面內MEMS致動器和所述第二平面內MEMS致動器中的至少一個是靜電MEMS致動器。
9.根據權利要求1所述的多軸MEMS組件，其中，所述第一平面內MEMS致動器和所述第二平面內MEMS致動器中的至少一個是電磁MEMS致動器。
10.根據權利要求1所述的多軸MEMS組件，其中，所述第一平面內MEMS致動器和所述第二平面內MEMS致動器中的至少一個是壓電MEMS致動器。
11.根據權利要求1所述的多軸MEMS組件，其中，所述第一平面內MEMS致動器和所述第二平面內MEMS致動器中的至少一個是圖像穩定致動器。
12.根據權利要求1所述的多軸MEMS組件，還包括：光電器件，被耦合至所述第一平面內MEMS致動器和所述第二平面內MEMS致動器中的一個。
13.一種被配置為提供多軸移動的多軸MEMS組件，所述多軸MEMS組件包括：
第一平面內MEMS致動器，被配置為能夠沿至少X軸移動；
第二平面內MEMS致動器，被配置為能夠沿至少Y軸移動；以及
光電器件，被耦合至所述第一平面內MEMS致動器和所述第二平面內MEMS致動器中的一個；
其中，所述第一平面內MEMS致動器被耦合至所述第二平面內MEMS致動器；
所述第一平面內MEMS致動器和所述第二平面內MEMS致動器形成堆疊式多軸微機電系統(MEMS)致動器。
15.根據權利要求13所述的多軸MEMS組件，其中，所述第一平面內MEMS致動器和所述第二平面內MEMS致動器中的至少一個是電磁MEMS致動器。
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