[發明專利]傾斜調整裝置以及具備該傾斜調整裝置的機器人

在審

• 申請號: 202080065203.2
• 申請日: 2020-09-14
• 公開（公告）號: CN114423575A
• 公開（公告）日: 2022-04-29
• 發明（設計）人: 清水一平;前田佳樹
• 申請（專利權）人: 川崎重工業株式會社
• 主分類號: B25J11/00
• 分類號: B25J11/00;B25J15/00
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 康曉宇

本發明的傾斜調整裝置以及機器人的特征在于，具備至少三個球面滑動軸承，它們分別設置于第一部件與第二部件之間，從高度方向觀察時配置于相互不同的部位，至少三個球面滑動軸承分別具有內圈以及外圈，內圈以及外圈中的任一方安裝于第一部件，內圈以及外圈中的任意另一方安裝于第二部件，在至少三個球面滑動軸承中的至少兩個，分別在內圈和外圈中的任一方與第一部件之間、以及在內圈和外圈中的任意另一方與第二部件之間中的至少任一者，夾設有高度位置調整機構。

技術領域

本發明涉及傾斜調整裝置以及具備該傾斜調整裝置的機器人。

背景技術

以往，公知有半導體制造裝置。這種半導體制造裝置例如在專利文獻1中被提出。

專利文獻1的半導體制造裝置具備晶圓移送裝置。晶圓移送裝置與用于收容多片晶圓的盒以及用于晶圓檢查的檢查裝置鄰接配置。晶圓移送裝置具備Y字狀或者U字狀的多個晶圓支承部件、與晶圓支承部件各自的基端連結來支承晶圓支承部件的第一支承臺和第二支承臺、以及與第一支承臺和第二支承臺連結使得晶圓支承部件沿直線方向移動的移動裝置。

專利文獻1：日本特開2008－141158號公報

但是，在專利文獻1以及以往存在的其他半導體制造裝置中，存在相對于構成其一部分的第一部件而言，構成其另外一部分的第二部件傾斜的情況。

發明內容

因此，本發明的目的在于提供能夠可靠地對構成該半導體制造裝置的另外一部分的第二部件相對于構成半導體制造裝置的一部分的第一部件的傾斜進行調整的傾斜調整裝置、以及具備該傾斜調整裝置的機器人。

為了解決上述課題，本發明的傾斜調整裝置用于調整相對于構成半導體制造裝置的一部分的第一部件的、構成上述半導體制造裝置的另外一部分的第二部件的傾斜，上述傾斜調整裝置的特征在于，具備：上述第一部件；上述第二部件，其以與上述第一部件對置的方式設置；以及至少三個球面滑動軸承，它們分別設置于上述第一部件與上述第二部件之間，且從高度方向觀察的情況下配置于相互不同的部位，上述至少三個球面滑動軸承分別具有內圈以及外圈，上述內圈以及上述外圈中的任一方安裝于上述第一部件，上述內圈以及上述外圈中的任意另一方安裝于上述第二部件，在上述至少三個球面滑動軸承中的至少兩個，分別在上述內圈和上述外圈中的任一方與上述第一部件之間、以及在上述內圈和上述外圈中的任意另一方與上述第二部件之間中的至少任一者，夾設有高度位置調整機構。

根據上述結構，至少三個球面滑動軸承之中的至少兩個分別通過高度位置調整機構被調整高度位置。由此，第一部件以及第二部件分別被調整相互的傾斜使得不會歪斜。其結果是，能夠可靠地調整構成該半導體制造裝置的另外一部分的第二部件相對于構成半導體制造裝置的一部分的第一部件的傾斜。

發明的效果

根據本發明，可提供能夠可靠地對構成該半導體制造裝置的另外一部分的第二部件相對于構成半導體制造裝置的一部分的第一部件的傾斜進行調整的傾斜調整裝置、以及具備該傾斜調整裝置的機器人。

附圖說明

圖1是表示本發明的一實施方式的機器人的整體結構的立體圖。

圖2是表示本發明的一實施方式的傾斜調整裝置的立體圖。

圖3是本發明的一實施方式的傾斜調整裝置的沿高度方向的剖視圖。

圖4是表示本發明的一實施方式的傾斜調整裝置的高度位置調整機構的一部分的立體圖。

圖5是表示本發明的一實施方式的傾斜調整裝置的蝸輪蝸桿副的簡圖。

圖6是表示本發明的一實施方式的傾斜調整裝置的球面滑動軸承、外螺紋部件以及內螺紋部件的分解立體圖。