[發明專利]傾斜調整裝置以及具備該傾斜調整裝置的機器人

在審

• 申請號: 202080065203.2
• 申請日: 2020-09-14
• 公開（公告）號: CN114423575A
• 公開（公告）日: 2022-04-29
• 發明（設計）人: 清水一平;前田佳樹
• 申請（專利權）人: 川崎重工業株式會社
• 主分類號: B25J11/00
• 分類號: B25J11/00;B25J15/00
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 康曉宇

1.一種傾斜調整裝置，用于調整相對于構成半導體制造裝置的一部分的第一部件的、構成所述半導體制造裝置的另外一部分的第二部件的傾斜，

所述傾斜調整裝置的特征在于，具備：

所述第一部件；

所述第二部件，其以與所述第一部件對置的方式設置；以及

至少三個球面滑動軸承，它們分別設置于所述第一部件與所述第二部件之間，且從高度方向觀察的情況下配置于相互不同的部位，

所述至少三個球面滑動軸承分別具有內圈以及外圈，所述內圈以及所述外圈中的任一方安裝于所述第一部件，所述內圈以及所述外圈中的任意另一方安裝于所述第二部件，

在所述至少三個球面滑動軸承中的至少兩個，分別在所述內圈和所述外圈中的任一方與所述第一部件之間、以及在所述內圈和所述外圈中的任意另一方與所述第二部件之間中的至少任一者，夾設有高度位置調整機構。

2.根據權利要求1所述的傾斜調整裝置，其特征在于，

所述高度位置調整機構具有馬達、和通過所述馬達的旋轉驅動而沿所述高度方向移動的移動部件，

所述移動部件固定于所述內圈以及所述外圈中的任一方。

3.根據權利要求2所述的傾斜調整裝置，其特征在于，

所述高度位置調整機構還具有減速機構，該減速機構用于減小由所述馬達產生的動力并將其輸出至所述移動部件。

4.根據權利要求1～3中的任一項所述的傾斜調整裝置，其特征在于，

所述至少三個球面滑動軸承中的至少兩個分別構成為：所述內圈安裝于所述第一部件，所述外圈安裝于所述第二部件，且在所述內圈與所述第一部件之間夾設有所述高度位置調整機構。

5.根據權利要求1～4中的任一項所述的傾斜調整裝置，其特征在于，

所述至少三個球面滑動軸承中的至少一個構成為：所述外圈安裝于所述第一部件，所述內圈安裝于所述第二部件，且在所述外圈與所述第一部件之間未夾設有所述高度位置調整機構。

6.一種機器人，構成為所述半導體制造裝置的一部分，用于保持并搬運半導體基板，

所述機器人的特征在于，具備：

權利要求1～5中的任一項所述的傾斜調整裝置；

托板，其規定了用于保持所述半導體基板的保持位置；

保持部件，其用于保持所述托板的基端；以及

手腕部，其設置于比所述保持部件靠基端側的位置。

7.根據權利要求6所述的機器人，其特征在于，

所述機器人還具備用于支承所述保持部件的支承部件，

所述保持部件能夠在所述支承部件上直線移動，

所述傾斜調整裝置以所述第一部件位于所述手腕部側、且所述第二部件位于所述支承部件側的方式，設置于所述手腕部與所述支承部件之間。

8.根據權利要求7所述的機器人，其特征在于，

所述機器人還具備旋轉軸，該旋轉軸沿所述高度方向延伸，并安裝于所述第二部件，

所述支承部件能夠繞所述旋轉軸轉動。

9.根據權利要求6～8中的任一項所述的機器人，其特征在于，

所述機器人還具備基體，該基體沿所述高度方向延伸，并安裝有所述手腕部的基端，

所述手腕部能夠在所述基體上沿所述高度方向移動。