[發明專利]用于激光持續等離子體照明源的旋轉燈

在審

• 申請號: 202080062839.1
• 申請日: 2020-09-22
• 公開（公告）號: CN114365261A
• 公開（公告）日: 2022-04-15
• 發明（設計）人: I·貝澤爾;L·茲韋德努科;A·斯捷潘諾夫;M·德明斯基;B·波塔普金
• 申請（專利權）人: 科磊股份有限公司
• 主分類號: H01J65/04
• 分類號: H01J65/04;H01J61/26;H01J37/32;H05H1/24
• 代理公司: 北京律盟知識產權代理有限責任公司 11287
• 代理人: 劉麗楠

本發明公開一種寬帶光源。所述寬帶光源包含可旋轉氣體圍阻結構。所述寬帶光源包含經配置以使所述可旋轉氣體圍阻結構繞所述可旋轉氣體圍阻結構的水平旋轉軸旋轉的旋轉驅動系統。所述寬帶光源包含：泵浦源，其經配置以產生泵浦照明；及反射器元件，其經配置以將所述泵浦照明的部分引導到所述氣體中以持續等離子體。所述反射器經配置以收集從所述等離子體發射的寬帶光的部分。

相關申請案的交叉參考

本申請案根據35U.S.C.§119(e)規定主張2019年9月23日申請的序列號為62/904,289的美國臨時申請案的權益，所述案的全文以引用方式并入本文中。

技術領域

本發明大體上涉及一種激光持續等離子體(LSP)寬帶光源且特定來說，涉及一種配備有旋轉可旋轉氣體圍阻結構的LSP燈箱。

背景技術

對用于檢驗不斷縮小的半導體裝置的經改進光源的需求持續增長。一個此光源包含激光持續等離子體(LSP)寬帶光源。LSP寬帶光源包含LSP燈，所述LSP燈能夠產生高功率寬帶光。LSP燈在燈玻璃上遭受不均勻熱分布且在激光泵浦照明中遭受對流引發的噪聲。因此，從燈輸出的等離子體光減少。在越來越高的泵浦功率下，這些問題變得更大。因而，提供一種用來彌補上述常規途徑的短處的系統及方法將是有利的。

發明內容

公開一種寬帶等離子體光源。在一個說明性實施例中，所述寬帶等離子體光源包含用于圍阻氣體的可旋轉氣體圍阻結構。在另一說明性實施例中，所述寬帶等離子體光源包含經配置以使所述可旋轉氣體圍阻結構繞軸旋轉的旋轉驅動系統。在另一說明性實施例中，所述寬帶等離子體光源包含經配置以產生泵浦照明的泵浦源。在另一說明性實施例中，所述寬帶等離子體光源包含經配置以將所述泵浦照明的部分引導到所述氣體中以持續等離子體的反射器元件，其中所述反射器經配置以收集從所述等離子體發射的寬帶光的至少一部分。

公開一種光學特性化系統。在一個說明性實施例中，所述系統包含寬帶照明源。在一個說明性實施例中，所述寬帶照明源包含：可旋轉氣體圍阻結構，其用于圍阻氣體；旋轉驅動系統，其經配置以使所述可旋轉氣體圍阻結構繞軸旋轉；泵浦源，其經配置以產生泵浦照明；及反射器元件，其經配置以將所述泵浦照明的部分引導到所述氣體中以持續等離子體，其中所述反射器經配置以收集從所述等離子體發射的寬帶光的至少一部分。在另一說明性實施例中，所述系統包含經配置以將來自所述寬帶照明源的寬帶光引導到一或多個樣本的一組照明光學器件。在另一說明性實施例中，所述系統包含經配置以收集從所述一或多個樣本發出的光的一組集光光學器件。在另一說明性實施例中，所述系統包含檢測器組合件。

公開一種產生寬帶光的方法。在一個說明性實施例中，所述方法包含使可旋轉氣體圍阻結構繞軸旋轉。在另一說明性實施例中，所述方法包含產生泵浦照明。在另一說明性實施例中，所述方法包含利用反射器元件將所述泵浦照明的部分引導到所述可旋轉氣體圍阻結構中的氣體中以持續等離子體。在另一說明性實施例中，所述方法包含利用所述反射器元件收集從所述等離子體發射的寬帶光的部分且將寬帶光的所述部分引導到一或多個下游應用。

應理解，前文概述及下文詳細描述兩者僅是示范性及解釋性且不一定限制如所主張的本發明。并入說明書中且構成說明書的部分的附圖說明本發明的實施例且連同概述一起用來解釋本發明的原理。

附圖說明

通過參考附圖，所屬領域的技術人員可更好地理解本公開的眾多優點，在附圖中：

圖1是常規LSP寬帶光源的示意說明；

圖2A到2C說明氣體圍阻結構的簡化示意視圖；

圖3說明硫燈的簡化示意視圖；

圖4A說明垂直燈配置內的對流模式；

圖4B說明水平燈配置內的對流模式；