[發明專利]雜質擴散組合物、使用了該雜質擴散組合物的半導體元件的制造方法及太陽能電池的制造方法

在審

• 申請號: 202080061387.5
• 申請日: 2020-09-18
• 公開（公告）號: CN114342101A
• 公開（公告）日: 2022-04-12
• 發明（設計）人: 北田剛;弓場智之;秋本旭
• 申請（專利權）人: 東麗株式會社
• 主分類號: H01L51/48
• 分類號: H01L51/48;H01L51/46
• 代理公司: 北京市中咨律師事務所 11247
• 代理人: 馬妮楠;段承恩

本發明的目的是提供能夠實現向半導體基板的均勻的雜質擴散、和絲網印刷時的優異的連續印刷性的雜質擴散組合物。為了達到上述目的，本發明的雜質擴散組合物具有以下構成。即，一種雜質擴散組合物，其包含(A)聚乙烯醇、(B)雜質擴散成分、和(C)硅氧烷，(A)聚乙烯醇的皂化度為20摩爾％以上且小于90摩爾％，(C)硅氧烷包含特定的部分結構。

技術領域

本發明涉及雜質擴散組合物、使用了該雜質擴散組合物的半導體元件的制造方法以及太陽能電池的制造方法。

背景技術

現在，在太陽能電池的制造中，在半導體基板中形成p型或n型的雜質擴散層的情況下，采用在基板上形成擴散源，通過熱擴散使雜質擴散到半導體基板中的方法。對于擴散源形成，研究了CVD法、液狀的雜質擴散組合物的溶液涂布法。其中溶液涂布法不需要昂貴的設備，大量生產性也優異，因此適合使用。

在通過溶液涂布法而形成p型雜質擴散層的情況下，通常，將含有硼化合物、和聚乙烯醇等含有羥基的高分子化合物的涂布液，使用旋轉涂布法、絲網印刷法而涂布在半導體基板表面，使其熱擴散。在這樣的涂布液中，從絲網印刷時的連續印刷性的觀點考慮，提出了不使用在含有硼的擴散組合物中一般使用的水，而使用了多元醇系溶劑、和皂化度在50～90摩爾％的較低范圍的聚乙烯醇的含有硼的擴散組合物(例如，參照專利文獻1)。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2013-8953號公報

發明內容

發明所要解決的課題

然而，在使用專利文獻1所記載那樣的皂化度的聚乙烯醇的情況下，具有擴散性不充分的課題。

本發明是基于上述那樣的情況而提出的，其目的是提供能夠實現向半導體基板的均勻的雜質擴散、和絲網印刷時的優異的連續印刷性的雜質擴散組合物。

用于解決課題的手段

為了解決上述課題，本發明的雜質擴散組合物具有以下構成。即，本發明是一種雜質擴散組合物，其包含(A)聚乙烯醇、(B)雜質擴散成分、和(C)硅氧烷，(A)聚乙烯醇的皂化度為20摩爾％以上且小于90摩爾％，(C)硅氧烷包含選自下述通式(1)、(2)的任一通式所示的部分結構中的至少1種、和選自下述通式(3)、(4)的任一通式所示的部分結構中的至少1種。

(R¹和R²各自獨立地表示羥基、碳原子數1～6的烷基、碳原子數1～7的烷氧基、碳原子數1～6的酰氧基、碳原子數2～10的烯基中的任一者，多個R¹和R²各自可以相同也可以不同。R³表示碳原子數6～15的芳基，多個R³各自可以相同也可以不同。R⁴表示羥基、碳原子數1～6的烷基、碳原子數1～7的烷氧基、碳原子數1～6的酰氧基、碳原子數2～10的烯基、碳原子數6～15的芳基中的任一者，多個R⁴各自可以相同也可以不同。)

發明的效果

根據本發明，可以提供能夠實現向半導體基板的均勻的雜質擴散、和絲網印刷時的優異的連續印刷性的雜質擴散組合物。

附圖說明

圖1為顯示本發明的第1實施方式涉及的半導體元件的制造方法的工序截面圖。

圖2A為顯示本發明的第2實施方式涉及的半導體元件的制造方法的工序截面圖。

圖2B為顯示使用了本發明的第2實施方式涉及的半導體元件的制造方法的背面接合型太陽能電池的制作方法的工序截面圖。

圖3A為顯示本發明的第3實施方式涉及的半導體元件的制造方法的工序截面圖。