[發明專利]負載傳感器元件以及負載傳感器元件的制造方法

在審

• 申請號: 202080059843.2
• 申請日: 2020-08-19
• 公開（公告）號: CN114303208A
• 公開（公告）日: 2022-04-08
• 發明（設計）人: 金子譽;鹽原菜摘;浦野幸一;澁谷勇介;近藤大地
• 申請（專利權）人: KOA株式會社;NTN株式會社
• 主分類號: H01C10/10
• 分類號: H01C10/10;H01C17/075
• 代理公司: 北京思創大成知識產權代理有限公司 11614
• 代理人: 高爽;張立君

一種負載傳感器元件，具備：基板，其由陶瓷材料構成；矩形的無機層，其具有承受負載的受壓面，并以覆蓋基板的單個面的覆蓋部的方式而被設置；薄膜電阻體，其為根據無機層所承受的負載而使電阻值變化的電阻體，且具有以被夾在基板與無機層之間的方式而被載置于基板的單個面的覆蓋部的本體部、和被載置于基板的單個面的未由無機層覆蓋的兩端部；一對電極，其以從無機層分離的方式而與薄膜電阻體的兩端部電連接，并被設置于基板的一方側。

技術領域

本發明涉及負載傳感器元件以及負載傳感器元件的制造方法。

背景技術

在日本專利特開JP2002-310813A中，公開了一種負載傳感器元件，該負載傳感器元件具備：感壓部，其由在陶瓷材料中分散了壓力電阻材料而獲得的復合材料構成；一對絕緣部，其使用了陶瓷，并被設置于感壓部的上表面以及下表面這兩方；一對電極，其被設置于感壓部的兩側面。

發明內容

然而，在日本專利特開JP2002-310813A所記載的負載傳感器元件中，感壓部為通過對具有一定的厚度且沖壓混合粉末而獲得的成形體進行燒結從而成的燒結體，所述混合粉末是將陶瓷材料和壓力電阻材料混合而獲得的，因此，在該感壓部中，難以使壓力電阻材料均勻地分散在陶瓷材料中。因此，存在因壓力電阻材料的分散的偏差而使負載傳感器元件的檢測境地降低這樣的問題。

另外，由于在專利文獻1所記載的負載傳感器元件中，一對電極被設置于感壓部的兩側面，因此，容易與對負載傳感器元件施加負載的加壓部件接觸。此外，在加壓部件為金屬材料的情況下，也存在容易產生因電極與金屬材料的加壓部件的接觸而引起的負載傳感器元件的短路這樣的問題。

本發明著眼于上述問題而作，其目的在于，提供能夠避免短路并穩定且高精度地檢測負載的負載傳感器元件以及負載傳感器元件的制造方法。

根據本發明的某一方式，提供一種負載傳感器元件，所述負載傳感器元件對負載進行檢測，其中，具備：基板，其由陶瓷材料或者在表面上具有絕緣層的金屬材料構成；無機層，其具有承受負載的受壓面，并以覆蓋所述基板的單個面的一部分的方式而被設置；薄膜電阻體，其為根據所述無機層所承受的負載而使電阻值變化的電阻體，且具有被夾在所述基板與所述無機層之間的本體部、和被載置于所述基板的未由所述無機層覆蓋的露出部的兩端部；一對電極，其以從所述無機層分離的方式而與所述薄膜電阻體的兩端部電連接，并被設置于所述基板的一方側。

根據本發明的某一其他方式，提供一種負載傳感器元件的制造方法，所述負載傳感器元件對負載進行檢測，其中，所述負載傳感器元件的制造方法具備：準備由陶瓷材料或者在表面上具有絕緣層的金屬材料構成的基板層的工序；在所述基板層上敷設薄膜電阻層，并在所述薄膜電阻層上敷設電極層的工序；通過實施所述電極層的圖案化，從而形成多個電極的工序；通過實施所述薄膜電阻層的圖案化，從而形成多個具有本體部以及供一對所述電極載置的兩端部薄膜電阻體的工序；通過敷設無機層體，從而形成具有設置有一對所述電極的多個單元元件的負載傳感器元件板的工序，所述無機層體是與所述本體部的數量對應的多個無機層以與所述電極分離并覆蓋多個所述本體部的方式被連續地形成而成的；將所述負載傳感器元件板分割為多個所述單元元件的工序。

借此，能夠避免短路并穩定且高精度地檢測負載。

附圖說明

圖1為表示第一實施方式所涉及的負載傳感器元件的立體圖。

圖2為表示第一實施方式所涉及的負載傳感器元件的俯視圖。

圖3為表示第一實施方式所涉及的負載傳感器元件的分解立體圖。

圖4為表示第一實施方式所涉及的負載傳感器元件的制造方法的流程圖。

圖5為表示基板層的準備工序的示意圖。

圖6為表示薄膜電阻層以及電極層的敷設工序的示意圖。

圖7為表示電極的形成工序的示意圖。