[發明專利]負載傳感器元件以及負載傳感器元件的制造方法

在審

• 申請號: 202080059843.2
• 申請日: 2020-08-19
• 公開（公告）號: CN114303208A
• 公開（公告）日: 2022-04-08
• 發明（設計）人: 金子譽;鹽原菜摘;浦野幸一;澁谷勇介;近藤大地
• 申請（專利權）人: KOA株式會社;NTN株式會社
• 主分類號: H01C10/10
• 分類號: H01C10/10;H01C17/075
• 代理公司: 北京思創大成知識產權代理有限公司 11614
• 代理人: 高爽;張立君

1.一種負載傳感器元件，對負載進行檢測，其中，具備：

基板，其由陶瓷材料或者在表面上具有絕緣層的金屬材料構成；

無機層，其具有承受負載的受壓面，并以覆蓋所述基板的單個面的一部分的方式設置；

薄膜電阻體，其為電阻值根據所述無機層所承受的負載而變化的電阻體，且具有被夾在所述基板與所述無機層之間的本體部、和被載置于所述基板的未由所述無機層覆蓋的露出部的兩端部；

一對電極，其以從所述無機層分離的方式而與所述薄膜電阻體的兩端部電連接，并被設置于所述基板的一方側。

2.如權利要求1所述的負載傳感器元件，其中，

所述無機層由陶瓷基板構成，并通過粘合層設置于所述本體部上。

3.如權利要求1所述的負載傳感器元件，其中，

所述無機層由氧化鋁保護膜構成。

4.如權利要求3所述的負載傳感器元件，其中，

所述氧化鋁保護膜以其厚度為3μm以上且小于所述基板的厚度的方式形成。

5.如權利要求1至4中任一項所述的負載傳感器元件，其中，

所述基板的厚度為0.3mm以上且5.0mm以下。

6.如權利要求1至5中任一項所述的負載傳感器元件，其中，

所述薄膜電阻體由NiCr系材料或者Cr系材料構成。

7.如權利要求1至6中任一項所述的負載傳感器元件，其中，

所述薄膜電阻體的厚度大于0、且為1μm以下。

8.如權利要求1至7中任一項所述的負載傳感器元件，其中，

所述本體部由蜿蜒曲折圖案部構成。

9.如權利要求8所述的負載傳感器元件，其中，

所述兩端部具有：

電極連接部，其設置有所述一對電極；

連結部，其將所述蜿蜒曲折圖案部和所述電極連接部連結。

10.如權利要求1至9中任一項所述的負載傳感器元件，其中，

所述基板以及所述無機層均為矩形。

11.如權利要求1至9中任一項所述的負載傳感器元件，其中，

所述基板為圓形，

所述本體部由沿著所述基板的外形的圓弧狀的蜿蜒曲折圖案或者圓弧狀的圖案部構成。

12.如權利要求1至11中任一項所述的負載傳感器元件，其中，

還具備定位部，所述定位部以不與所述本體部干涉的方式設置，并對所述負載傳感器元件進行定位。

13.一種負載傳感器元件的制造方法，所述負載傳感器元件對負載進行檢測，其中，所述負載傳感器元件的制造方法具備：

準備由陶瓷材料或者在表面上具有絕緣層的金屬材料構成的基板層的工序；

在所述基板層上敷設薄膜電阻層，并在所述薄膜電阻層上敷設電極層的工序；

通過實施所述電極層的圖案化，從而形成多個電極的工序；

通過實施所述薄膜電阻層的圖案化，從而形成多個具有本體部以及供一對所述電極載置的兩端部的薄膜電阻體的工序；

通過敷設無機層體，從而形成具有設置有一對所述電極的多個單元元件的負載傳感器元件板的工序，所述無機層體是與所述本體部的數量對應的多個無機層以與所述電極分離并覆蓋多個所述本體部的方式連續地形成的；

將所述負載傳感器元件板分割為多個所述單元元件的工序。