[發(fā)明專利]觸發(fā)式采樣系統(tǒng)和方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202080059008.9
• 申請日: 2020-08-25
• 公開（公告）號: CN114270165A
• 公開（公告）日: 2022-04-01
• 發(fā)明（設計）人: D·羅迪耶;B·諾倫伯格;I·桑切斯
• 申請（專利權）人: 粒子監(jiān)測系統(tǒng)有限公司
• 主分類號: G01N1/22
• 分類號: G01N1/22;G01N1/02;G01N15/00
• 代理公司: 北京匯知杰知識產權代理有限公司 11587
• 代理人: 楊巍;柴春玲

本文描述了監(jiān)測系統(tǒng)和方法，包括用于空氣中分子污染物(AMC)的監(jiān)測系統(tǒng)和方法，其將采樣器(例如沖擊采樣器或吸附管)與實時分析儀(例如離子遷移譜儀(IMS)或光學粒子計數(shù)器)結合起來。所述系統(tǒng)可以允許選擇性采樣，其中所述采樣器僅在實時分析儀檢測到滿足特定標準(例如分析物的組成和/或濃度)的分析物(例如分子污染物或顆粒)期間暴露于目標流體。本發(fā)明還包括具有采樣器儲存器的沖擊采樣器系統(tǒng)，所述采樣器儲存器包含抗陰離子浸出材料，所述抗陰離子浸出材料的特征在于在去離子水存在下的低陰離子浸出率。

相關申請的交叉引用

本申請要求于2019年8月26日提交的美國臨時專利申請No.62/891,819的優(yōu)先權權益，其內容通過引用整體并入本文。

背景技術

包括起泡器和吸附管的沖擊采樣器廣泛用于包括半導體制造在內的各個行業(yè)，用于監(jiān)測空氣中的分子污染物。這些裝置通過使流體(例如空氣、工藝氣體或氣體混合物)流過吸收性材料來工作，在沖擊采樣器或起泡器的情況下，所述吸附性材料為液體，或在吸附管的情況下，所述吸附性材料為粒狀固體。將所述吸附性材料暴露于所述流體中一段設定的時間，然后取出用于外部測試(例如質譜或氣相色譜)以鑒定和/或量化存在于所述流體中并轉移至吸附性材料中的污染物。

雖然使用沖擊采樣器和吸收管既經(jīng)濟又準確，但它們缺乏向制造過程提供任何實時反饋的能力。根據(jù)更換和分析沖擊采樣器之間的時間，可能要幾天后才能檢測到污染物。一旦進行分析，沖擊采樣器也無法提供精確的時間分量，因為沒有方法可以確定污染物是何時被沖擊采樣器捕獲的，因此它們只能提供在相對較長的時間段內的某個時間點發(fā)生了污染。這意味著大量制成品可能已經(jīng)暴露于污染物，且必須進行測試或從生產中去除。

從上述可以看出，在本領域中仍然需要能夠在捕獲污染物的時間方面提供更多間隔的空氣中的分子污染物的采樣系統(tǒng)和方法。這些方法將有利于制造業(yè)，因為它們可以更有效地識別可能已經(jīng)暴露于污染物的產品或物品，同時允許使用沖擊采樣器、起泡器和吸附管進行精確測試。

發(fā)明內容

本文描述了監(jiān)測系統(tǒng)和方法，所述監(jiān)測系統(tǒng)和方法包括例如用于空氣中的分子污染物(AMC)和/或生物顆粒的檢測和表征，其將采樣器(例如沖擊采樣器、撞擊采樣器、過濾器或吸附管)與實時分析儀結合起來，例如，用于觸發(fā)和/或控制，使得采樣器能在分析物(如污染物)更可能存在和/或存在于某些閾值水平和/或滿足某些檢測標準的期間對流體進行采樣。所述系統(tǒng)可以允許選擇性和/或有針對性的采樣，其中采樣器在實時分析儀檢測到滿足特定標準(例如分析物的組成、每單位時間內的計數(shù)和/或濃度)的分析物(例如分子污染物)期間暴露于目標流體。本發(fā)明還包括具有采樣器儲存器的沖擊采樣器系統(tǒng)，所述采樣器儲存器包含抗陰離子浸出材料，所述抗陰離子浸出材料的特征在于在去離子水存在下的低陰離子浸出率。

在一方面，提供了一種監(jiān)測系統(tǒng)，其包括：(i)實時分析儀，用于監(jiān)測流體(例如來自監(jiān)測中的樣品、工藝或環(huán)境的氣體或液體)中的一種或多種分析物；(ii)采樣器，包括沖擊采樣器、撞擊采樣器、過濾器或吸附管；(iii)流動系統(tǒng)，其可操作地連接到所述實時分析儀和所述采樣器；其中所述流動系統(tǒng)配置為使得在通過所述實時分析儀檢測到所述流體中的所述一種或多種分析物之時，例如滿足一種或多種實時分析儀分析物檢測標準的檢測，所述流動系統(tǒng)將流體從監(jiān)測中的樣品、工藝或環(huán)境引導至所述采樣器以進行采樣，例如，其中所述實時分析儀分析物檢測標準可以任選地包括以下一種或多種：分析物的閾值濃度、分析物的閾值量、分析物的檢出閾值頻率、每單位時間內分析物計數(shù)的閾值數(shù)以及分析物的組成，并且其中任選地，將流體在選定的持續(xù)時間內和/或以選定的速率引導至所述采樣器，以便允許對由所述采樣器采樣的分析物進行后續(xù)分析。