[發(fā)明專(zhuān)利]用于流量限制器的密封件

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202080057738.5
• 申請(qǐng)日: 2020-08-05
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN114556536A
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-05-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 馬修·埃里克·科瓦契奇;扎卡賴亞·伊齊基爾·麥金太爾;肖恩·約瑟夫·彭利;克里斯托弗·布賴恩特·戴維斯
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 艾科系統(tǒng)公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/67
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/67
• 代理公司: 北京京萬(wàn)通知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11440
• 代理人: 許天易

1.一種用于氣體流量限制器的密封件，該密封件包括：

第一端；

第二端，從所述第一端延伸到所述第二端的縱向軸線；以及

孔，該孔容納所述流量限制器以在所述流量限制器和所述密封件之間形成流體密封連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的密封件，其中，所述密封件被配置成插入到閥的孔口中。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的密封件，其中，所述密封件是非金屬的。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的密封件，其中，所述密封件由聚四氟乙烯形成。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的密封件，其中，所述密封件具有第一端和第二端，所述密封件沿著所述縱向軸線從所述第一端延伸到所述第二端。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的密封件，其中，密封腹板沿著所述縱向軸線位于所述第一端和所述第二端之間。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的密封件，其中，所述密封腹板包括流量孔，所述流量孔是矩形的。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的密封件，其中，所述密封件包括第一密封環(huán)和第二密封環(huán)。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的密封件，其中，所述密封件包括墊片。

10.一種閥組件，包括：

包括有通道的閥；

流量限制器，該流量限制器包括：

第一端；

第二端；

從所述第一端延伸至所述第二端的縱向軸線；

密封部分，其沿所述縱向軸線位于所述第一端與所述第二端之間；以及

密封件，其與所述流量限制器的密封部分和所述閥的通道接觸。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的閥組件，其中，所述密封件由聚四氟乙烯形成。

12.根據(jù)權(quán)利要求10所述的閥組件，其中，所述密封件是非金屬的。

13.根據(jù)權(quán)利要求10所述的閥組件，其中，所述密封件是金屬的。

14.根據(jù)權(quán)利要求10所述的閥組件，其中，所述密封件沿著所述縱向軸線從第一端延伸到第二端。

15.根據(jù)權(quán)利要求10所述的閥組件，其中，所述流量限制器還包括脊部，所述密封件與所述脊部接觸。

16.根據(jù)權(quán)利要求10所述的閥組件，其中，所述流量限制器還包括未密封部分，所述未密封部分具有第一直徑，所述密封部分具有第二直徑。

17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的閥組件，其中，所述第一直徑大于所述第二直徑。

18.根據(jù)權(quán)利要求16所述的閥組件，其中，所述密封件的外表面具有第三直徑，所述第三直徑大于所述第一直徑和所述第二直徑。

19.根據(jù)權(quán)利要求10所述的閥組件，其中，所述閥的通道具有內(nèi)表面，所述密封件的外表面與所述閥的通道的內(nèi)表面接觸。

20.根據(jù)權(quán)利要求10所述的閥組件，其中，所述密封件包括位于所述密封件的第一端和所述密封件的第二端之間的密封腹板。

21.根據(jù)權(quán)利要求20所述的閥組件，其中，所述密封腹板包括流量孔，所述流量孔接收所述流量限制器。

22.根據(jù)權(quán)利要求10所述的閥組件，其中，所述密封件還包括密封腹板、第一密封環(huán)和第二密封環(huán)。