[發明專利]光學膜、濺射靶以及光學膜的成膜方法

在審

• 申請號: 202080056223.3
• 申請日: 2020-06-24
• 公開（公告）號: CN114207180A
• 公開（公告）日: 2022-03-18
• 發明（設計）人: 大上秀晴
• 申請（專利權）人: 住友金屬礦山株式會社
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;C23C14/54;C23C14/08;G02B1/10
• 代理公司: 隆天知識產權代理有限公司 72003
• 代理人: 陳曦;向勇

本發明提供要求簡便的成膜條件的光學膜(含有銫、鎢以及氧的復合鎢氧化物膜)、濺射靶以及光學膜的成膜方法。本發明的光學膜在可見光波長區域具有透過性，在近紅外波長區域具有吸收性，而且具有電波透過性，所述光學膜含有銫、鎢以及氧，按每50nm劃分300nm～1700nm的波長區域而確定的各波長[300nm、350nm、400nm、450nm、……1700nm]的折射率n和消光系數k分別設定為特定的數值范圍內。

技術領域

本發明涉及在可見光波長區域具有透過性、在近紅外波長區域具有吸收性并且具有電波透過性的光學膜及其成膜方法，特別是，涉及利用濺射法成膜的光學膜、濺射靶以及光學膜的成膜方法。

背景技術

近年來，為了降低夏季在室內和車等移動機構中的空調的能量消耗量，正在開發吸收外部光的窗的熱線遮蔽技術。作為該技術手段，存在將具有熱線遮蔽效果的著色膜或形成有光學薄膜的膜(遮光部件)粘貼于窗上的方法、將具有熱線遮蔽效果的物質涂布于窗上的方法、采用通過蒸鍍或濺射等形成具有熱線遮蔽效果的光學薄膜的窗的方法等，采用通過蒸鍍或濺射等形成具有熱線遮蔽效果的光學薄膜的窗的方法是不能對以有的窗實施光學薄膜但能夠形成耐久性高的光學薄膜的方法。

例如，在專利文獻1中，作為窗材料等的上述遮光部件，記載了通過蒸鍍法形成鋁等金屬膜的具有鏡面狀態的膜(遮光部件)。但是，在使用這些遮光部件的情況下，由于外觀為半反射鏡狀，因此，在室外使用時存在反射耀眼的視覺問題。另外，由于鋁等金屬膜具有高導電性，因此，其反射電波，存在手機、智能手機、GPS(Global Positioning System，全球定位系統)使用設備等利用電波的設備難以連接的問題。

另外，作為涂布具有熱線遮蔽效果的物質的上述方法，本申請人提出了具有專利文獻2中記載的復合鎢氧化物微粒的紅外線遮蔽微粒分散體。復合鎢氧化物微粒高效地吸收太陽光線特別是近紅外線區域的光，而且對可見光也具有高透明性。另外，上述紅外線遮蔽微粒分散體是使復合鎢氧化物微粒分散在適當的溶劑中制成分散液，在得到的分散液中添加介質樹脂后，涂布于基材表面形成薄膜，因此，同時具有熱線遮蔽性和電波透過性。但是，專利文獻2中記載的方法由于通過涂布(coating)法形成薄膜，因此，存在為了控制膜厚、確保大面積膜厚的均勻性并確保平坦性而需要高度的涂布技術的問題。

另外，作為利用上述濺射等的方法，專利文獻3公開了車輛用窗玻璃及其制造方法，使用能夠對車輛用窗玻璃的大面積基板進行處理的大型在線方式的濺射裝置，例如，提出了依次形成第一金屬氧化物膜(ITO)/第一Ag膜/第二金屬氧化物膜(ITO)/第二Ag膜/第三金屬氧化物膜(ITO)而成的車輛用窗玻璃，專利文獻4提出了來自濺射成膜的復合鎢氧化物膜。

但是，在使用濺射裝置形成第一金屬氧化物膜(ITO)/第一Ag膜/第二金屬氧化物膜(ITO)/第二Ag膜/第三金屬氧化物膜(ITO)等多層膜或上述復合鎢氧化物膜等光學膜時，使用的濺射裝置的成膜室內形狀、玻璃等基板的輸送速度、導入成膜室內的氧氣等氣體放出管和濺射靶以及基板的位置關系等復雜地相互影響，因此，難以唯一地確定所期望的光學膜的成膜條件，以往，根據光學薄膜的理論計算適當地變更成膜條件并且制備多個所期望的光學膜的樣品，分別測量制備的樣品在可見光波長區域的透過率和近紅外波長區域的透過率，針對使用的各濺射裝置而求出符合目標的光學膜的成膜條件。

但是，由于可見光波長區域的透過率、近紅外波長區域的透過率與光學膜的膜厚有關，因此，也需要一并檢查樣品的膜厚是否為適當值，期望開發一種簡便地求出所期望的光學膜的成膜條件的方法。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開平5-113085號公報；

專利文獻2：日本特許第4096205號公報；

專利文獻3：日本特開2002-020142號公報；

專利文獻4：日本特許第6540859號公報。