[發明專利]用于半導體工藝的氣體/固體分離的液體過濾裝置

在審

• 申請號: 202080056104.8
• 申請日: 2020-06-05
• 公開（公告）號: CN114207839A
• 公開（公告）日: 2022-03-18
• 發明（設計）人: I·馬哈威利
• 申請（專利權）人: 科利百利股份有限公司
• 主分類號: H01L29/66
• 分類號: H01L29/66;H01L29/778;H01L29/15
• 代理公司: 廣州嘉權專利商標事務所有限公司 44205
• 代理人: 林偉峰

1.一種用于氣體/固體分離的液體過濾裝置，所述過濾裝置包括：

外殼，具有過濾室、半導體工藝氣體入口、工藝氣體出口，所述室形成液體儲存器，并且所述半導體工藝氣體入口和所述工藝氣體出口與所述過濾室連通；以及

與所述液體儲存器連通的過濾液入口和過濾液出口，分別用于將過濾流體輸送到所述液體儲存器和從所述液體儲存器移除過濾流體。

2.根據權利要求1所述的液體過濾裝置，其中所述半導體工藝氣體入口與所述工藝氣體出口成一直線。

3.根據權利要求1或2所述的液體過濾裝置，其中所述外殼包括在所述液體儲存器和所述工藝氣體出口之間的排氣室。

4.根據權利要求1或3所述的液體過濾裝置，還包括進料管，所述進料管與所述工藝氣體入口連通并延伸到所述液體儲存器中以將流經所述工藝氣體入口的工藝氣體直接注入液體儲存器中的過濾液體中。

5.根據權利要求4在依賴于權利要求3時所述的液體過濾裝置，其中所述外殼包括與所述過濾室和所述排氣室流體連通的內部導管，以將過濾后的工藝氣體流從所述過濾室引導到所述排氣室。

6.根據權利要求5所述的液體過濾裝置，其中所述進料管包括穿孔進料管。

7.根據權利要求6所述的液體過濾裝置，其中所述的穿孔進料管包括遠端部分和在所述遠端部分處的多個穿孔。

8.根據權利要求7所述的液體過濾裝置，還包括過濾液體控制系統，用于控制過濾液體流入和流出所述液體儲存器。

9.根據權利要求8所述的液體過濾裝置，其中所述過濾液體控制系統包括控制器和流體回路，所述控制器控制所述流體回路以調節過濾液體流入和流出所述液體儲存器的流量，并且配置成將過濾液體保持在所述儲液器中的液體高度。

10.根據權利要求1所述的液體過濾裝置，還包括進料管，所述進料管在其中具有文丘里節流部和文丘里入口，所述文丘里入口與所述半導體工藝氣體入口或所述液體過濾器入口流體連通以將工藝氣體或過濾液體吸入所述進料管。

11.根據權利要求10所述的液體過濾裝置，還包括過濾液體控制系統，用于控制過濾液體流入和流出所述液體儲存器，所述過濾液體控制系統包括控制器和流體回路，所述控制器控制所述流體回路以調節過濾液體流入和流出所述液體儲存器并且被配置為將過濾液體保持在所述液體儲存器中的液體高度。

12.根據權利要求11所述的液體過濾裝置，其中所述過濾液體控制系統包括與所述過濾液入口流體連通的泵，以將過濾液體泵入所述液體儲存器。

13.根據權利要求12所述的液體過濾裝置，所述過濾液體入口通過所述進料管與所述液體儲存器流體連通，其中所述泵被配置為使過濾液體通過所述進料管循環進入所述液體儲存器中。

14.根據以上任一權利要求所述的液體過濾裝置，其中所述外殼包括一個或多個用于觀察所述室的光學窗口。

15.根據以上任一權利要求所述的液體過濾裝置，其中所述室包括旋轉構件以旋轉所述室中的流體。

16.根據以上任一權利要求所述的液體過濾裝置，其中所述室與流體回路選擇性連通，并且所述流體回路配置成控制過濾流體流入和流出所述室，并且可選地，所述流體回路包括控制器，以提供從所述室自動添加和/或移除過濾流體。

17.一種從半導體工藝氣體中分離固體的方法，所述方法包括以下步驟：

將半導體工藝氣體引導到過濾液體流或包含過濾液體的儲存器中，從而過濾工藝氣體；以及

排出過濾后的工藝氣體。