[發明專利]磁傳感器在審
| 申請號: | 202080041266.4 | 申請日: | 2020-11-17 |
| 公開(公告)號: | CN113906303A | 公開(公告)日: | 2022-01-07 |
| 發明(設計)人: | 遠藤大三;筱龍德;坂脅彰;利根川翔;渡邊恭成 | 申請(專利權)人: | 昭和電工株式會社 |
| 主分類號: | G01R33/06 | 分類號: | G01R33/06 |
| 代理公司: | 北京市金杜律師事務所 11256 | 代理人: | 李國卿 |
| 地址: | 日本*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 傳感器 | ||
1.磁傳感器,其具備:
非磁性的基板;和
感應元件,所述感應元件具有長邊方向和短邊方向,在與該長邊方向交叉的方向上具有單軸磁各向異性,并通過磁阻抗效應來感應磁場,
所述感應元件具有多個軟磁體層、和由非磁體構成且層疊于多個該軟磁體層之間的多個非磁體層,夾著各個該非磁體層而相對的該軟磁體層是經反鐵磁性耦合的。
2.如權利要求1所述的磁傳感器,其特征在于,各個所述非磁體層由Ru或Ru合金構成。
3.如權利要求2所述的磁傳感器,其特征在于,各個所述非磁體層的厚度為0.6nm以上且1.4nm以下的范圍。
4.如權利要求1至3中任一項所述的磁傳感器,其特征在于,在從所述軟磁體層的層疊方向觀察該軟磁體層的情況下,所述感應元件不形成閉合磁疇。
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