[發明專利]真空泵及連結型螺紋槽間隔件

在審

• 申請號: 202080036455.2
• 申請日: 2020-05-22
• 公開（公告）號: CN113840985A
• 公開（公告）日: 2021-12-24
• 發明（設計）人: 三枝健吾;吉原菜穗子;大立好伸
• 申請（專利權）人: 埃地沃茲日本有限公司
• 主分類號: F04D19/04
• 分類號: F04D19/04
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 張澤洲;王瑋

提供即使借助固定螺栓將連結型螺紋槽間隔件緊固連結也能夠防止真空泵的排氣性能的下降的真空泵。本發明的實施方式的連結型螺紋槽間隔件具備使西格巴恩泵部和螺紋槽泵部連結的構造。將該連結型螺紋槽間隔件緊固連結時，預先在排氣流路部設置沉孔，借助固定螺栓與基部緊固連結。通過這樣設置，固定螺栓的頭部不突出至排氣流路，固定螺栓的頭部不成為相對于排出氣體的阻力。這樣，能夠抑制真空泵的排氣性能下降。

技術領域

本發明涉及真空泵及連結型螺紋槽間隔件。更詳細地說，涉及在具有螺紋槽泵部(圓筒螺紋部)和西格巴恩泵部的真空泵中將連結型螺紋槽間隔件緊固連結時抑制固定螺栓導致的排氣性能的下降的真空泵及連結型螺紋槽間隔件。

背景技術

以往使用的具有西格巴恩型的結構的西格巴恩型分子泵具備旋轉圓板(旋轉圓盤)、與該旋轉圓板在軸向上具有間隙(空隙)地設置的固定圓板，在該旋轉圓板或固定圓板的至少某一方的間隙相向表面刻設有螺旋狀槽(也稱作螺旋槽或漩渦狀槽)流路。并且，是如下真空泵：借助旋轉圓板對擴散進入至螺旋狀槽流路內的氣體分子施加旋轉圓板切線方向(即，旋轉圓板的旋轉方向的切線方向)的運動量，由此借助螺旋狀槽從吸氣口向排氣口賦予優勢的方向性來進行排氣。

為了將這樣的西格巴恩型分子泵、或者具有西格巴恩型分子泵部的真空泵在工業上利用，旋轉圓板和固定圓板的級是單級的話壓縮比不足所以被多級化。若為了滿足所需要的壓縮性能而增加級數，則泵自身的大小相應地變大。

此外，多級化的情況下，產生使旋轉圓板為半分形狀的必要。這樣，需要使泵的外筒(殼)變長至覆蓋西格巴恩部(西格巴恩泵部)的長度，該情況下泵自身的大小也變大。

此外，具有螺紋槽式泵型的結構的螺紋槽型分子泵、特別是高溫化規格的真空泵中，為使螺紋部(螺紋槽部)處的壓縮性能變好，使螺紋槽部的長度(螺紋長度)變長或構成為設置有兩個以上的多個流路的并行路徑類型等來制造。

然而，由于使螺紋長度變長而排氣構造的周圍構造(殼等)的部分變大，或者由于設為并行路徑而復雜的零件增加等，制造成本變大。

圖8是用于說明以往的單路徑螺紋類型的真空泵的圖。

例如，具備流路為一個的單路徑螺紋槽間隔件2001的以往的真空泵1001中，欲使壓縮性能變好情況下，需要使螺紋槽部的軸向的長度變長。若這樣地使螺紋槽部的軸向的長度變長，則需要相應地使基部3變大，所以制造成本變大。

專利文獻1：日本特開2017-106365號公報。

專利文獻1中，公開了維持螺紋槽泵部的排氣性能且實現小型化的連結型螺紋槽間隔件、及配設有該連結型螺紋槽間隔件的真空泵。即，被記載的連結型螺紋槽間隔件具備使西格巴恩泵部和螺紋槽泵部連結的構造，使作為排氣要素部的螺紋槽泵部的構造為在圓筒狀螺紋上安裝有西格巴恩型的構造的構造，設為在該安裝部分各零件連結的結構。即，使西格巴恩部和圓筒狀螺紋(螺紋槽泵部)的流路的交界呈從真空泵的軸線方向觀察以大致直角的方式相連，將西格巴恩部和螺紋槽泵部的流路相連。借助該結構，使螺紋槽泵部的壓縮流路長度由于被連結的西格巴恩部而沿徑向延伸。

然而，上述專利文獻1中，關于將連結型螺紋槽間隔件例如如何固定于基部未有記載。即，關于連結型螺紋槽間隔件的緊固連結方法不明確。

但是，裝配真空泵時，從下側(排氣口側)逐漸堆積來裝配的話裝配作業容易。即，將連結型螺紋槽間隔件例如緊固連結于基部時，若能夠在連結型螺紋槽間隔件的排氣流路部借助固定螺栓緊固連結，則能夠從真空泵的上側進行作業，所以作業中無需使真空泵反轉，作業效率提高。

另一方面，若在連結型螺紋槽間隔件的排氣流路部設置固定螺栓，則該固定螺栓的頭部成為相對于排出氣體的阻力，有對真空泵的性能造成影響的可能。

發明內容