[發明專利]真空泵及連結型螺紋槽間隔件在審
| 申請號: | 202080036455.2 | 申請日: | 2020-05-22 |
| 公開(公告)號: | CN113840985A | 公開(公告)日: | 2021-12-24 |
| 發明(設計)人: | 三枝健吾;吉原菜穗子;大立好伸 | 申請(專利權)人: | 埃地沃茲日本有限公司 |
| 主分類號: | F04D19/04 | 分類號: | F04D19/04 |
| 代理公司: | 中國專利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 張澤洲;王瑋 |
| 地址: | 日本*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 真空泵 連結 螺紋 間隔 | ||
1.一種真空泵,具有外裝體、固定零件、西格巴恩泵部、螺紋槽泵部,
前述外裝體形成有吸氣口或排氣口,
前述固定零件內置于前述外裝體,
前述真空泵的特征在于,
具備連結型螺紋槽間隔件,前述連結型螺紋槽間隔件具有使前述西格巴恩泵部和前述螺紋槽泵部連結的構造,
在前述連結型螺紋槽間隔件的排氣流路面設置沉孔,借助配置于該沉孔的固定螺栓,將前述連結型螺紋槽間隔件和前述外裝體或前述固定零件緊固連結。
2.如權利要求1所述的真空泵,其特征在于,
在前述外裝體或前述固定零件設置將前述螺紋槽泵部加熱的加熱機構,
前述固定螺栓被配置成與被前述加熱機構加熱的前述外裝體或前述固定零件的高溫部分接觸。
3.如權利要求2所述的真空泵,其特征在于,
前述固定螺栓為與鐵系的螺栓相比熱傳導性優異的材質。
4.一種連結型螺紋槽間隔件,被用于具有外裝體、固定零件、西格巴恩泵部、螺紋槽泵部的真空泵,前述外裝體形成有吸氣口或排氣口,前述固定零件內置于前述外裝體,
前述連結型螺紋槽間隔件的特征在于,
前述連結型螺紋槽間隔件具有使前述西格巴恩泵部和前述螺紋槽泵部連結的構造,
在前述連結型螺紋槽間隔件處,在排氣流路面設置有用于固定螺栓的沉孔,借助前述固定螺栓,與前述外裝體或前述固定零件緊固連結。
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