[發(fā)明專利]曝光用鏡、曝光用鏡的制造方法以及具備該曝光用鏡的曝光裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202080029340.0
• 申請(qǐng)日: 2020-04-07
• 公開（公告）號(hào): CN113711127A
• 公開（公告）日: 2021-11-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 麻籍文;吉本芳幸
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社V技術(shù)
• 主分類號(hào): G03F7/20
• 分類號(hào): G03F7/20;G02B5/08
• 代理公司: 北京奉思知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11464
• 代理人: 鄒軼鮫;石紅艷

本發(fā)明提供能夠以廉價(jià)的結(jié)構(gòu)檢測(cè)損傷、應(yīng)變量等的鏡的狀態(tài)的曝光用鏡、曝光用鏡的制造方法、以及具備該曝光用鏡的曝光裝置。曝光用鏡具備：反射膜，其形成于板狀玻璃的表面?zhèn)龋軌蚍瓷鋪碜怨庠吹墓猓灰约皩?dǎo)電性的成膜圖案，其在板狀玻璃的背面?zhèn)纫员确瓷淠け∏覐囊欢瞬康搅硪欢瞬窟B續(xù)的方式成膜，成膜圖案在曝光用鏡損傷時(shí)斷裂從而能夠檢測(cè)曝光用鏡的損傷。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及曝光用鏡、曝光用鏡的制造方法以及具備該曝光用鏡的曝光裝置，更詳細(xì)而言，涉及能夠檢測(cè)曝光用鏡的損傷、應(yīng)變量等鏡的狀態(tài)的曝光用鏡、曝光用鏡的制造方法、以及具備該曝光用鏡的曝光裝置。

背景技術(shù)

在接近式曝光裝置中，在涂布有感光材料的被曝光基板上，將形成有曝光圖案的掩模以數(shù)10μm～數(shù)100μm的間隙接近配置，經(jīng)由掩模照射來自光照明裝置的曝光光，將曝光圖案轉(zhuǎn)印到被曝光基板。

另外，在專利文獻(xiàn)1中提出了如下的接近式曝光方法及其裝置：在光路反轉(zhuǎn)鏡的背面的多個(gè)部位配備能夠微小位移的致動(dòng)器，調(diào)整光路反轉(zhuǎn)鏡的局部的曲率來進(jìn)行曝光用照明光的平行度的調(diào)整以及掩模的局部的伸縮等的校正。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本特開平7-201711號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明欲解決的技術(shù)問題

然而，由于光路反轉(zhuǎn)鏡是玻璃制的，因此在致動(dòng)器想要過度地變更光路反轉(zhuǎn)鏡的局部的曲率的情況下，有可能在光路反轉(zhuǎn)鏡產(chǎn)生裂紋等損傷。在曝光裝置中，由于光路反轉(zhuǎn)鏡的損傷會(huì)對(duì)被曝光的產(chǎn)品質(zhì)量產(chǎn)生影響，因此在萬一光路反轉(zhuǎn)鏡損傷的情況下，需要立即檢測(cè)出光路反轉(zhuǎn)鏡的損傷。

作為檢測(cè)反轉(zhuǎn)鏡的破損的方法，可以考慮利用聲波根據(jù)玻璃的破損聲波形進(jìn)行破損檢測(cè)的方法、通過直接從玻璃面檢測(cè)玻璃破損時(shí)的振動(dòng)波形來進(jìn)行破損檢測(cè)的方法。然而，在使用玻璃的破損聲波形、破損時(shí)的振動(dòng)波形的檢測(cè)方法中，受到裝置自身的動(dòng)作聲音、振動(dòng)的影響，誤檢測(cè)多，難以進(jìn)行穩(wěn)定的破損檢測(cè)。此外，檢測(cè)器自身的結(jié)構(gòu)變得復(fù)雜且昂貴，存在改善的余地。

本發(fā)明是鑒于上述課題而完成的，其目的在于提供一種能夠以廉價(jià)的結(jié)構(gòu)對(duì)損傷、應(yīng)變量等的鏡的狀態(tài)進(jìn)行檢測(cè)的曝光用鏡、曝光用鏡的制造方法、以及具備該曝光用鏡的曝光裝置。

用于解決問題的技術(shù)手段

本發(fā)明的上述目的通過下述的結(jié)構(gòu)來實(shí)現(xiàn)。

(1)一種曝光用鏡，用于反射來自光源的光，該曝光用鏡具備：

反射膜，所述反射膜形成于板狀玻璃的表面?zhèn)龋軌蚍瓷鋪碜运龉庠吹墓猓灰约?/p>

導(dǎo)電性的成膜圖案，所述導(dǎo)電性的成膜圖案以比所述反射膜薄且從一端部到另一端部連續(xù)的方式成膜于所述板狀玻璃的背面?zhèn)取?/p>

(2)根據(jù)(1)所述的曝光用鏡，其中，

所述成膜圖案在所述曝光用鏡損傷時(shí)斷裂從而能夠檢測(cè)所述曝光用鏡的損傷。

(3)根據(jù)(1)或(2)所述的曝光用鏡，其中，

所述成膜圖案沿著所述板狀玻璃的外周部成膜。

(4)根據(jù)(1)或(2)所述的曝光用鏡，其中，

所述成膜圖案以從所述一端部經(jīng)過所述板狀玻璃的外周部和內(nèi)部到所述另一端部連續(xù)的方式成膜。

(5)根據(jù)(1)或(2)所述的曝光用鏡，

所述成膜圖案在從所述一端部到所述另一端部之間，并聯(lián)連接有電阻值各不相同的多個(gè)圖案。

(6)根據(jù)(1)或(2)所述的曝光用鏡，