[發(fā)明專利]彈性波裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202080018412.1
• 申請日: 2020-03-06
• 公開（公告）號: CN113519120B
• 公開（公告）日: 2023-05-23
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 奧永洋夢
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社村田制作所
• 主分類號: H03H9/145
• 分類號: H03H9/145;H03H9/25
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 李國華

提供一種彈性波裝置，能夠高精度地調(diào)整聲速，難以產(chǎn)生聲損失。彈性波裝置(1)在支承基板(2)上層疊有能量封閉層(3)、壓電膜(4)及IDT電極(7)，并且設(shè)置有聲速調(diào)整膜(11、12)，該聲速調(diào)整膜(11、12)設(shè)置在壓電膜(4)與支承基板(2)之間的至少一部分，并且由與壓電膜(4)不同的材料構(gòu)成。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及具有聲速調(diào)整膜的彈性波裝置。

背景技術(shù)

以往，已知有一種具有用于使彈性波的聲速部分不同的聲速調(diào)整膜的彈性波裝置。例如在下述的專利文獻1所記載的彈性波裝置中，在第一電極指和第二電極指在從彈性波傳播方向觀察的情況下重疊的交叉區(qū)域內(nèi)的兩端附近，設(shè)置有第一邊緣區(qū)域、第二邊緣區(qū)域。為了降低該第一邊緣區(qū)域、第二邊緣區(qū)域的聲速，在第一邊緣區(qū)域、第二邊緣區(qū)域?qū)盈B有用于向第一電極指、第二電極指附加質(zhì)量的金屬膜。另外，在下述的專利文獻2中，示出在邊緣區(qū)域中在第一電極指、第二電極指層疊了電介質(zhì)膜的構(gòu)造。

在先技術(shù)文獻

專利文獻

專利文獻1：WO2011/088904A1

專利文獻2：日本特開2015-111923號公報

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明要解決的課題

在專利文獻1和專利文獻2所記載的彈性波裝置中，將由金屬、電介質(zhì)構(gòu)成的聲速調(diào)整膜層疊在第一電極指、第二電極指上，因此，難以高精度地形成聲速調(diào)整膜。因此，難以高精度地對聲速進行調(diào)整。另外，當在電極指層疊比較厚的聲速調(diào)整膜時，聲損失變大。因此，機電耦合系數(shù)、Q特性也可能會發(fā)生劣化。

本發(fā)明的目的在于，提供一種能夠高精度地調(diào)整聲速、難以產(chǎn)生聲損失的彈性波裝置。

用于解決課題的手段

本發(fā)明的彈性波裝置具備：支承基板；壓電膜；IDT電極，其設(shè)置在所述壓電膜上；能量封閉層，其設(shè)置在所述壓電膜與所述支承基板之間，用于將能量封閉在所述壓電膜；以及聲速調(diào)整膜，其設(shè)置在所述壓電膜與所述支承基板之間的至少一部分，并且，由與所述壓電膜不同的材料構(gòu)成。

發(fā)明效果

根據(jù)本發(fā)明，可提供能夠高精度地調(diào)整聲速且難以產(chǎn)生聲損失的彈性波裝置。

附圖說明

圖1的(a)及圖1的(b)是用于說明本發(fā)明的第一實施方式的彈性波裝置的主要部分的俯視圖及正面剖視圖。

圖2是示意性示出本發(fā)明的第一實施方式的彈性波裝置的電極構(gòu)造的俯視圖。

圖3是示出本發(fā)明的第二實施方式的彈性波裝置的主要部分的正面剖視圖。

圖4的(a)及圖4的(b)是用于說明本發(fā)明的第三實施方式的彈性波裝置的主要部分的俯視圖及正面剖視圖。

圖5的(a)及圖5的(b)是用于說明本發(fā)明的第四實施方式的彈性波裝置的主要部分的俯視圖及正面剖視圖。

圖6是用于說明本發(fā)明的第五實施方式的彈性波裝置的主要部分的正面剖視圖。

圖7是示出本發(fā)明的第六實施方式的彈性波裝置的主要部分的正面剖視圖。

具體實施方式

以下，通過參照附圖對本發(fā)明的具體實施方式進行說明，使本發(fā)明變得清楚。

需要說明的是，本說明書所記載的各實施方式是例示性的內(nèi)容，預先指出在不同的實施方式之間能夠進行結(jié)構(gòu)的部分置換或組合。

圖1的(a)及圖1的(b)是示出本發(fā)明的第一實施方式的彈性波裝置的主要部分的俯視圖及正面剖視圖，圖2是示意性示出本實施方式的彈性波裝置的電極構(gòu)造的俯視圖。