[發明專利]具有可裝拆的軸的掃描電子顯微鏡及利用其的影像獲取方法

在審

• 申請號: 202080017623.3
• 申請日: 2020-02-27
• 公開（公告）號: CN113519038A
• 公開（公告）日: 2021-10-19
• 發明（設計）人: 李俊熙
• 申請（專利權）人: 庫賽姆株式會社
• 主分類號: H01J37/10
• 分類號: H01J37/10;H01J37/20;H01J37/244;H01J37/28
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205
• 代理人: 王茜;臧建明

在本發明的掃描電子顯微鏡中能夠在試料設置部裝拆軸，從而通過更換整個軸解決軸相關的簡單校正、波速偏移、耗材更換等軸相關的問題，因此具有簡單、便于維修及管理的優點。

技術領域

本發明涉及掃描電子顯微鏡，更具體來講涉及能夠裝拆軸從而方便、容易維修、管理的掃描電子顯微鏡。

并且，本發明還包括利用這種掃描電子顯微鏡的影像獲取方法。

本申請要求韓國專利申請第10-2019-0033312號(發明名稱：具有可裝拆的軸的掃描電子顯微鏡及利用其的影像獲取方法，2019年3月25日申請)的優先權，韓國專利申請第10-2019-0033312號的申請說明書及附圖中包含的內容全部包含于本說明書。

背景技術

通常，掃描電子顯微鏡將電子束掃描到試料并檢測在試料發生的二次電子(secondary electron)或反射電子(back scattered electron)等以獲取待測試料的影像。

掃描電子顯微鏡具有軸與試料設置部。軸的內部設置有電子槍、匯聚電子的聚透鏡、使電子束聚焦的物鏡、調節電子束的方向的掃描模塊等。并且，在試料設置部的內部設置試料、用于放置試料的試料臺、移動試料臺的工作臺等。試料設置部的內部被設計制造成真空空間或大氣壓空間。

軸為電子顯微鏡的核心，整個電子顯微鏡的設計、制造以軸為中心展開。近來電子顯微鏡的開發方向更多是要求追求無專業知識人士也能夠輕易使用，而不是達到更高的性能。軸極其復雜且進行精細工作，因此需具備科學、技術知識才能進行簡單校正、波速偏移、耗材更換。因此存在軸相關的簡單校正、波速偏移、耗材更換等也都需要專業人員幫助，從而維修時間及費用上升的問題。

并且，使軸內部形成高真空耗費時間，因此還存在耗費大量作業準備時間的問題。

發明內容

技術問題

本發明旨在解決上述問題，目的在于提供一種使軸在試料設置部能夠裝拆，從而通過更換整個軸解決軸相關的簡單校正、波速偏移、耗材更換等軸相關的問題，因此簡單、便于維修及管理的掃描電子顯微鏡。

本發明的又一目的是提供一種預先將軸內部形成為高真空從而能夠縮短作業準備時間的掃描電子顯微鏡。

本發明的又一目的是提供一種利用這種掃描電子顯微鏡的影像獲取方法。

技術方案

為達成上述目的，在本發明的優選實施例的掃描電子顯微鏡100中，軸10通過裝拆機構可裝拆地設置在試料設置部30。

軸10內部設置有電子槍11、聚透鏡12、物鏡13及第一真空泵P且形成真空空間S1。并且，軸10的下端設置有膜19。空氣無法通過膜19，在電子槍11發生的電子通過膜19并掃描到試料。

試料設置部30連接于軸10，內部有用于設置試料的空間S2，結合于框架50。

裝拆機構將軸10可裝拆地結合于試料設置部30，使得軸10與試料設置部30及框架50在振動時成為一體。

軸10的一側具有連接器15。連接器15傳輸電子槍11、聚透鏡12、物鏡13及第一真空泵P的驅動所需的電源，傳輸聚透鏡12與物鏡13的控制信號及檢測器16的信號等。

具體來講，所裝拆機構可包括：在軸10的下端設置于膜19外圍的第一框架41；與第一框架41對應地形成于試料設置部30的上端的第二框架45；以及將第一框架41、第二框架45鎖緊成彼此之間結合的鎖緊部件49。

軸10內部可具有存儲器部。存儲器部存儲通過校準(calibration)得到的軸補正信息。