[發(fā)明專利]具有可裝拆的軸的掃描電子顯微鏡及利用其的影像獲取方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202080017623.3 | 申請日： | 2020-02-27 |
| 公開（公告）號： | CN113519038A | 公開（公告）日： | 2021-10-19 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 李俊熙 | 申請（專利權(quán)）人： | 庫賽姆株式會社 |
| 主分類號： | H01J37/10 | 分類號： | H01J37/10;H01J37/20;H01J37/244;H01J37/28 |
| 代理公司： | 北京同立鈞成知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11205 | 代理人： | 王茜;臧建明 |
| 地址： | 韓國大*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 具有 可裝拆 掃描 電子顯微鏡 利用 影像 獲取 方法 | ||
1.一種掃描電子顯微鏡，其特征在于，包括：
軸(10)，內(nèi)部設(shè)置有電子槍(11)、聚透鏡(12)、物鏡(13)及第一真空泵(P)，內(nèi)部具有真空空間(S1)，下端設(shè)置有膜(19)；
試料設(shè)置部(30)，與軸(10)連接，具有用于設(shè)置試料的空間，并且結(jié)合于框架(50)；以及，
裝拆機構(gòu)，將軸(10)可裝拆地結(jié)合于試料設(shè)置部(30)，并且結(jié)合成軸(10)與試料設(shè)置部(30)成為一體；
其中，框架(50)、試料設(shè)置部(30)及軸(10)通過裝拆機構(gòu)成為一體，
空氣無法通過膜(19)，而在電子槍(11)發(fā)生的電子通過膜(19)掃描(scanning)到試料，
軸(10)的一側(cè)設(shè)有連接器(15)，連接器(15)傳輸電子槍(11)、聚透鏡(12)、物鏡(13)及第一真空泵(P)的驅(qū)動所需的電源，傳輸聚透鏡(12)與物鏡(13)的控制信號及檢測器(16)的信號。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掃描電子顯微鏡，其特征在于，裝拆機構(gòu)包括：
第一框架(41)，在軸(10)的下端設(shè)置于膜(19)的外圍；
第二框架(45)，與第一框架(41)對應(yīng)地設(shè)置在試料設(shè)置部(30)的上端；以及，
鎖緊部件(49)，將第一框架(41)、第二框架(45)鎖緊成彼此氣密。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掃描電子顯微鏡，其特征在于，
軸(10)內(nèi)部具有存儲通過校準(zhǔn)(calibration)得到的軸補正信息的存儲器部。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掃描電子顯微鏡，其特征在于，
膜保護(hù)罩(20)設(shè)置在軸(10)的下端蓋住膜(19)對膜(19)進(jìn)行保護(hù)，
膜保護(hù)罩(20)的內(nèi)部空間(S3)成為真空狀態(tài)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掃描電子顯微鏡，其特征在于，
軸(10)的內(nèi)部下端設(shè)置有BSE檢測器(back-scattered electron detector，16)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項所述的掃描電子顯微鏡，其特征在于，
軸(10)上設(shè)置有第一閥(18)，第一閥(18)連接于軸(10)外部的高真空泵，
軸(10)的內(nèi)部通過高真空泵成為高真空狀態(tài)后，通過第一真空泵(P)保持所述高真空狀態(tài)。
7.一種利用掃描電子顯微鏡的影像獲取方法，其特征在于，包括：
軸(10)與試料設(shè)置部(30)分離的狀態(tài)下將軸(10)內(nèi)部形成為真空的步驟(a)；
在所述步驟(a)之后，將軸(10)結(jié)合到試料設(shè)置部(30)的步驟(b)；
在所述步驟(b)之后，將試料設(shè)置部的內(nèi)部形成為真空或大氣壓狀態(tài)的步驟(c)；以及，
獲取試料的影像的步驟(d)，
其中，所述軸(10)的內(nèi)部設(shè)有第一真空泵(P)，軸(10)的下端設(shè)有膜(19)，空氣無法通過膜(19)，在電子槍(11)發(fā)生的電子通過膜(19)并對試料進(jìn)行掃描，
框架(50)與試料設(shè)置部(30)及軸(10)通過所述步驟(b)的結(jié)合成為一體，
軸(10)的一側(cè)設(shè)有連接器(15)，連接器(15)傳輸電子槍(11)、聚透鏡(12)、物鏡(13)及第一真空泵(P)的驅(qū)動所需的電源，傳輸聚透鏡(12)與物鏡(13)的控制信號及檢測器(16)的信號。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的利用掃描電子顯微鏡的影像獲取方法，其特征在于，所述步驟(a)包括：
將外部的高真空泵連接到軸(10)將軸(10)內(nèi)部形成為高真空的步驟(a1)；以及，
在所述步驟(a1)之后，利用第一真空泵(P)保持所述高真空的狀態(tài)的步驟(a2)。
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