[發(fā)明專(zhuān)利]感光性樹(shù)脂組合物、抗蝕劑圖案的形成方法、以及鍍覆造形物的制造方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202080013648.6
• 申請(qǐng)日: 2020-02-13
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN113412288B
• 公開(kāi)（公告）日: 2023-08-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 野田寛人;小川卓;堀川修平;香村和彥
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: JSR株式會(huì)社
• 主分類(lèi)號(hào): C08F220/20
• 分類(lèi)號(hào): C08F220/20;C08F220/36;G03F7/027;G03F7/033;G03F7/20;H01L21/60
• 代理公司: 北京同立鈞成知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11205
• 代理人: 賀財(cái)俊;臧建明

1.一種感光性樹(shù)脂組合物，含有堿可溶性樹(shù)脂(A)、聚合性化合物(B)、光自由基聚合引發(fā)劑(C)及溶劑(D)，所述堿可溶性樹(shù)脂(A)具有下述式(2)所表示的結(jié)構(gòu)單元，所述聚合性化合物(B)含有選自下述式(1)所示的化合物及下述式(3)所示的化合物中的至少一種的化合物(B1)，所述感光性樹(shù)脂組合物中所含的所述化合物(B1)的含有比例為15質(zhì)量％～50質(zhì)量％；

式(2)中，R⁵表示氫原子、碳數(shù)1～10的經(jīng)取代或未經(jīng)取代的烷基或鹵素原子，R⁶表示單鍵或酯鍵，R⁷表示羥基芳基，

式(1)及式(3)中，R分別獨(dú)立地表示下述式(1-1)～式(1-3)所示的任意基，式(1)中的三個(gè)R中的至少一個(gè)及式(3)中的四個(gè)R中的至少一個(gè)R表示下述式(1-1)所示的基，式(3)中的R^a分別獨(dú)立地表示氫原子或甲基，

*-R³¹-R³²???????????????(1-3)

式中，R¹¹表示碳數(shù)1～10的烷二基，R¹²表示碳數(shù)3～10的烴基，R¹³表示氫原子、碳數(shù)1～10的烷基或碳數(shù)1～10的氟化烷基，X表示-COO-或-OCO-；R²¹表示碳數(shù)1～3的烷二基，R²²表示氫原子、碳數(shù)1～7的烷基或碳數(shù)1～7的氟化烷基，Y表示-COO-或-OCO-；R³¹表示碳數(shù)1～3的烷二基，R³²表示羥基、羧基、巰基或環(huán)氧基；l表示1～3的整數(shù)；m表示0～1的整數(shù)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的感光性樹(shù)脂組合物，其中所述化合物(B1)相對(duì)于所述堿可溶性樹(shù)脂(A)及所述聚合性化合物(B)的合計(jì)含量的含有比例為20質(zhì)量％～50質(zhì)量％。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的感光性樹(shù)脂組合物，其中所述聚合性化合物(B)中所含的所述化合物(B1)的含有比例為50質(zhì)量％～100質(zhì)量％。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的感光性樹(shù)脂組合物，其中所述聚合性化合物(B1)為所述式(1)所表示的化合物。

5.一種抗蝕劑圖案的形成方法，其特征在于包括：

步驟(1)，將如權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的感光性樹(shù)脂組合物涂布于基板上而形成樹(shù)脂涂膜；

步驟(2)，對(duì)所述樹(shù)脂涂膜進(jìn)行曝光；

步驟(3)，對(duì)曝光后的樹(shù)脂涂膜進(jìn)行顯影。

6.一種鍍覆造形物的制造方法，其特征在于包括：

將通過(guò)如權(quán)利要求5所述的抗蝕劑圖案的形成方法所形成的抗蝕劑圖案作為掩模而進(jìn)行鍍覆處理的步驟。