[發明專利]熱固性樹脂膜、第一保護膜形成用片、套件、及帶第一保護膜的工件加工物的制造方法

在審

• 申請號: 202080006593.6
• 申請日: 2020-03-10
• 公開（公告）號: CN113169082A
• 公開（公告）日: 2021-07-23
• 發明（設計）人: 四宮圭亮
• 申請（專利權）人: 琳得科株式會社
• 主分類號: H01L21/60
• 分類號: H01L21/60
• 代理公司: 北京路浩知識產權代理有限公司 11002
• 代理人: 張晶;謝順星

1.一種熱固性樹脂膜，其為通過貼附在工件的具有凸狀電極的面上并使其熱固化從而用于在所述面上形成第一保護膜的熱固性樹脂膜，

將所述熱固性樹脂膜貼附在厚度為35μm、直徑為8英寸的圓形銅箔上，在平坦的狀態下使所述銅箔朝下，使所述熱固性樹脂膜熱固化并自然冷卻后的、整個圓周的最大翹曲量為20mm以下。

2.一種熱固性樹脂膜，其為通過貼附在工件的具有凸狀電極的面上并使其熱固化從而用于在所述面上形成第一保護膜的熱固性樹脂膜，

所述熱固性樹脂膜含有除重均分子量大于10000且具有環氧基的丙烯酸樹脂以外的熱固性成分，

在對所述熱固性樹脂膜所含有的所述熱固性成分的每個種類求出由下述公式算出的X值，并求出所述熱固性樹脂膜所含有的所有種類的所述熱固性成分的所述X值的合計值時，所述合計值為300g/eq以上，

X＝[熱固性成分的參與熱固化反應的官能團的當量(g/eq)]×[熱固性樹脂膜的熱固性成分的含量(質量份)]/[熱固性樹脂膜的所有種類的熱固性成分的合計含量(質量份)]。

3.一種第一保護膜形成用片，其具備第一支撐片，且在所述第一支撐片的一個面上具備權利要求1或2所述的熱固性樹脂膜。

4.一種套件，其具備權利要求1或2所述的熱固性樹脂膜與第二保護膜形成用膜，所述第二保護膜形成用膜用于貼附于所述工件的與具有凸狀電極的面為相反側的背面。

5.一種帶第一保護膜的工件加工物的制造方法，其具有：

在工件的具有凸狀電極的面上貼附權利要求1或2所述的熱固性樹脂膜的工序；

使貼附后的所述熱固性樹脂膜熱固化從而形成第一保護膜的工序；及

分割所述工件，且同時切斷所述第一保護膜的工序。