[發明專利]掩模板遮片和掩模板設備在審
| 申請號： | 202080003670.2 | 申請日： | 2020-12-25 |
| 公開（公告）號： | CN114981468A | 公開（公告）日： | 2022-08-30 |
| 發明（設計）人： | 牛彤;嵇鳳麗;羅昶;徐倩;張國夢;黃琰;李劍波 | 申請（專利權）人： | 京東方科技集團股份有限公司;成都京東方光電科技有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/04 | 分類號： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 中科專利商標代理有限責任公司 11021 | 代理人： | 張啟程 |
| 地址： | 100015 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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【權利要求書】：
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