[發(fā)明專利]利用激光的光刻膠圖案修整方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202080003351.1
• 申請(qǐng)日: 2020-09-14
• 公開（公告）號(hào): CN113207285A
• 公開（公告）日: 2021-08-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 樸在雄;樸勛;金甫謙;盧俊亨;全在赫;金仙株
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社考恩斯特
• 主分類號(hào): B23K26/362
• 分類號(hào): B23K26/362;H01L21/027
• 代理公司: 北京青松知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 11384
• 代理人: 鄭青松

1.一種利用激光的光刻膠圖案修整方法，其特征在于，包括：

檢查在工藝基板的對(duì)象物質(zhì)層上形成的光刻膠圖案而檢測(cè)圖案異常的步驟；

限定于包括作為所述圖案異常的光刻膠圖案被破壞部分的部分，通過圖案印刷再形成光刻膠層的步驟；

在所設(shè)計(jì)的圖案外的部分通過激光照射在所述對(duì)象物質(zhì)層上去除光刻膠層而形成光刻膠正常圖案的步驟；

將所述光刻膠正常圖案用作工藝掩模而實(shí)施后續(xù)工藝的步驟。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的利用激光的光刻膠圖案修整方法，其特征在于，

所述通過圖案印刷再形成光刻膠層的步驟，還包括：

通過對(duì)在所述光刻膠圖案被破壞的部分再形成的光刻膠層的激光照射來實(shí)施前烘的細(xì)節(jié)步驟、實(shí)施光固化的細(xì)節(jié)步驟、通過激光照射實(shí)施后烘而使光刻膠圖案穩(wěn)定化的細(xì)節(jié)步驟中的至少一個(gè)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光刻膠圖案修整方法，其特征在于，

實(shí)施在所述對(duì)象物質(zhì)層上去除光刻膠層形成光刻膠正常圖案的步驟之后且實(shí)施所述后續(xù)工藝之前，實(shí)施利用激光照射對(duì)再形成的所述光刻膠層實(shí)施光固化或后烘。

4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的光刻膠圖案修整方法，其特征在于，

所述通過圖案印刷再形成光刻膠層的步驟，由在設(shè)置于吐出光刻膠的微管噴嘴和所述微管噴嘴周圍的一個(gè)以上的提取電極或者提取柵極之間施加電壓并調(diào)節(jié)而帶電的光刻膠借助電場(chǎng)被引出并利用層壓在所述工藝基板的結(jié)構(gòu)的印刷裝置來完成。

5.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的光刻膠圖案修整方法，其特征在于，

所述后續(xù)工藝為蝕刻所述對(duì)象物質(zhì)層的蝕刻工藝。

6.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的光刻膠圖案修整方法，其特征在于，

在所設(shè)計(jì)的圖案外的部分通過激光照射在所述對(duì)象物質(zhì)層上去除光刻膠層而形成光刻膠正常圖案的步驟包括，在部分區(qū)域調(diào)節(jié)激光輸出或掃描時(shí)間而去除光刻膠層部分厚度的過程。