[實用新型]一種腔蓋、腔體以及等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202023349053.4
• 申請日: 2020-12-31
• 公開（公告）號: CN214168124U
• 公開（公告）日: 2021-09-10
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 劉文科;黃春林;胡宗義
• 申請（專利權(quán)）人: 成都紐曼和瑞微波技術(shù)有限公司
• 主分類號: C23C16/511
• 分類號: C23C16/511;C23C16/52
• 代理公司: 北京卓恒知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 11394
• 代理人: 孔鵬

本申請公開了一種腔蓋、腔體以及等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備，屬于微波電磁聚焦技術(shù)領(lǐng)域，腔蓋包括主體和覆蓋片，主體包括至少兩個同軸的腔體，這些腔體的直徑沿他們的軸線方向依次增大；在主體的外壁上設(shè)置有供冷卻水流動的第一凹槽，覆蓋片與主體可拆卸連接。本實用新型公開的上腔體利用階梯狀的腔體進(jìn)行配合，能夠高效增強(qiáng)微波功率的耦合，極大地提高了諧振腔內(nèi)微波電場的聚焦能力；供冷卻水經(jīng)過的第一凹槽直接設(shè)置在主體上，冷卻水與腔體之間的間隔距離小，冷卻效果較佳，且覆蓋片與主體之間為可拆卸配合，可以隨時對第一凹槽進(jìn)行清理，避免水垢將第一凹槽堵塞，從而保證對主體冷卻的高效性。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及微波電磁聚焦技術(shù)領(lǐng)域，具體而言，涉及一種腔蓋、腔體以及等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備。

背景技術(shù)

現(xiàn)有大功率微波傳輸波導(dǎo)系統(tǒng)的散熱主要是在波導(dǎo)外壁上纏繞銅管或者鋁管，并焊接在波導(dǎo)外壁上，冷卻水流經(jīng)銅管或者鋁管來散熱。該結(jié)構(gòu)至少具有如下的缺點：焊接后冷卻裝置與基材之間存在熱阻，散熱效率低，且在使用一段時間后，當(dāng)銅管或者鋁管被水垢堵塞時，無法進(jìn)行清洗，導(dǎo)致冷卻水流通不暢。

實用新型內(nèi)容

本實用新型所要解決的技術(shù)問題是公開一種腔蓋、腔體以及等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備，以改善上述的問題。

本實用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是：

基于上述的目的，本實用新型公開了一種腔蓋，包括：

主體，所述主體包括至少兩個腔體，所述至少兩個腔體同軸設(shè)置，且所述至少兩個腔體的直徑沿其軸線的方向依次增大，所述主體的外壁上設(shè)置有第一凹槽；以及

覆蓋片，所述覆蓋片與所述主體可拆卸連接，且所述覆蓋片覆蓋在所述第一凹槽處形成第一冷卻水通道。

可選地：相鄰的兩個所述腔體之間設(shè)置有過渡腔，所述過渡腔的直徑沿直徑較小的所述腔體朝向直徑較大的腔體的方向逐漸增大。

可選地：所述主體上還設(shè)置有第二凹槽，所述第二凹槽位于所述主體的頂部，所述第二凹槽與所述第一凹槽間隔設(shè)置，所述腔蓋還包括頂板，所述頂板與所述主體可拆卸連接，且所述頂板位于所述第二凹槽處。

可選地：所述第二凹槽包括兩個對稱的彎折槽，每個所述彎折槽包括同心布置且從內(nèi)到外半徑逐漸增大的多個圓弧形的槽。

基于上述的目的，本實用新型還公開了一種腔體，包括底板和如上所述的腔蓋，所述底板安裝于所述主體，且所述底板安裝于最大的所述腔體處，所述底板上設(shè)置有多個通孔，多個所述通孔均與所述腔體連通。

可選地：所述底板上設(shè)置有凸起，所述凸起沿所述底板的周向呈環(huán)形，所述凸起卡接于所述主體。

可選地：所述凸起的外側(cè)壁設(shè)置為第一斜面，所述第一斜面沿所述底板朝向所述主體的方向向內(nèi)傾斜，所述主體上設(shè)置有與所述第一斜面配合的第二斜面，所述第二斜面與所述第一斜面平行設(shè)置。

可選地：所述底板和所述凸起上分別設(shè)置有第三凹槽，所述第三凹槽呈環(huán)狀。

可選地：所述底板上設(shè)置有過濾網(wǎng)，所述過濾網(wǎng)位于所述通孔內(nèi)。

基于上述的目的，本實用新型還公開了一種等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備，包括如上所述的腔體。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型實現(xiàn)的有益效果是：

本實用新型公開的腔蓋利用階梯狀的腔體進(jìn)行配合，能夠高效增強(qiáng)微波功率的耦合，極大地提高了諧振腔內(nèi)微波電場的聚焦能力；供冷卻水經(jīng)過的第一凹槽直接設(shè)置在主體上，冷卻水與腔體之間的間隔距離小，冷卻效果較佳，且覆蓋片與主體之間為可拆卸配合，可以隨時對第一凹槽進(jìn)行清理，避免水垢將第一凹槽堵塞，從而保證對主體冷卻的高效性。

附圖說明