[實(shí)用新型]鍍膜載板

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202023344028.7
• 申請(qǐng)日: 2020-12-31
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN214203638U
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-09-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 不公告發(fā)明人
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 安徽華晟新能源科技有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/673
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/673;H01L31/18
• 代理公司: 北京清大紫荊知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11718
• 代理人: 彭一波

本申請(qǐng)實(shí)施例中提供了一種鍍膜載板，屬于太陽(yáng)能電池加工夾具的技術(shù)領(lǐng)域，至少部分解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的硅片在加工時(shí)與載板接觸面積過(guò)大，致使太陽(yáng)能電池量產(chǎn)效率較低的問(wèn)題。包括載板本體，所述載板本體上設(shè)有用于放置硅片的凹槽，所述凹槽內(nèi)安裝有用于支撐所述硅片的支撐部，所述支撐部與硅片的接觸面積小于所述硅片的面積。通過(guò)本申請(qǐng)的處理方案，提高了太陽(yáng)能電池中硅片的加工率。

技術(shù)領(lǐng)域

本申請(qǐng)涉及太陽(yáng)能電池硅片夾具的技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種鍍膜載板。

背景技術(shù)

硅基太陽(yáng)能電池經(jīng)歷了兩個(gè)階段：以晶體硅和多晶硅為代表的第一代太陽(yáng)能電池和以非晶硅薄膜為代表的第二代太陽(yáng)能電池。然而，傳統(tǒng)的基于同質(zhì)PN結(jié)(P是positive的縮寫(xiě)，N是negative的縮寫(xiě)，表明正荷子與負(fù)荷子起作用的特點(diǎn))技術(shù)的硅基太陽(yáng)能電池存在效率低、產(chǎn)品光衰嚴(yán)重等問(wèn)題，異質(zhì)結(jié)電池及其技術(shù)為解決上述問(wèn)題應(yīng)運(yùn)而生。其特點(diǎn)是低溫制造工藝：異質(zhì)結(jié)電池所有制程的加工溫度均低于250℃，避免了生產(chǎn)效率低而成本高的高溫?cái)U(kuò)散制結(jié)的過(guò)程，而且低溫工藝使得a-Si薄膜的光學(xué)帶隙、沉積速率、吸收系數(shù)以及氫含量得到較精確的控制，也可避免因高溫導(dǎo)致的熱應(yīng)力等不良影響。

相比傳統(tǒng)太陽(yáng)能電池，異質(zhì)結(jié)電池工藝流程大大簡(jiǎn)化(見(jiàn)圖1異質(zhì)結(jié)電池工藝流程)，但對(duì)工藝的要求卻更為嚴(yán)苛，如潔凈度、真空度、溫度控制、鍍膜質(zhì)量等，比現(xiàn)有的電池技術(shù)要求都要高一個(gè)量級(jí)。

現(xiàn)有技術(shù)的缺陷是：異質(zhì)結(jié)電池結(jié)構(gòu)的本質(zhì)特征是鈍化使電池獲得一個(gè)良好的界面，從而避免載流子的復(fù)合，而鈍化效果直接反映在少子壽命上，因此降低界面缺陷態(tài)密度，提高本征非晶硅薄層鈍化后硅片少子壽命的工序是制備高效太陽(yáng)能電池的前提和關(guān)鍵。由于非晶硅薄膜生長(zhǎng)對(duì)表面質(zhì)量要求很高，對(duì)清洗后的硅片而言，任何的物理接觸均會(huì)對(duì)少子壽命產(chǎn)生不良影響，如何在鍍膜前后保證硅片的表面潔凈程度成為異質(zhì)結(jié)電池制程的關(guān)鍵技術(shù)，硅片整面跟載板物理接觸造成的不良影響無(wú)法消除，影響太陽(yáng)能電池的使用效率，并且在載板上進(jìn)行凹槽的設(shè)置成本較大。

發(fā)明內(nèi)容

有鑒于此，本申請(qǐng)實(shí)施例提供一種鍍膜載板，至少部分解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的硅片在加工時(shí)與載板接觸面積過(guò)大，致使太陽(yáng)能電池量產(chǎn)效率較低的問(wèn)題。

本實(shí)用新型提供一種鍍膜載板，包括載板本體和支撐件，所述載板本體中開(kāi)設(shè)有用于放置硅片的凹槽，所述載板本體鄰近所述凹槽的邊緣為用于支撐所述硅片的支撐部，所述支撐件活動(dòng)設(shè)置于所述凹槽內(nèi)且至少部分位于所述支撐部上方，所述支撐部和所述支撐件與硅片的接觸面積小于所述硅片的面積。

在一個(gè)優(yōu)選或可選的實(shí)施方式中，所述支撐部與所述支撐件結(jié)合為臺(tái)階狀。

在一個(gè)優(yōu)選或可選的實(shí)施方式中，在所述載板本體鄰近所述凹槽的區(qū)域沿所述凹槽的邊緣開(kāi)設(shè)有條狀的容置槽，所述支撐件在與所述支撐部接觸的端部為條狀搭扣，所述搭扣能置入所述容置槽以使得所述支撐件與所述支撐部連接。

在一個(gè)優(yōu)選或可選的實(shí)施方式中，所述容置槽在靠近所述凹槽的內(nèi)槽壁下沿形成卡槽，所述搭扣的下部形成突部，所述卡槽與所述突部的形狀相適配，以使得所述支撐件與所述支撐部卡合。

在一個(gè)優(yōu)選或可選的實(shí)施方式中，所述支撐件采用高純材料制成，所述高純材料包括石墨、玻璃、石英、陶瓷中的至少一種。

在一個(gè)優(yōu)選或可選的實(shí)施方式中，所述支撐部至少沿所述凹槽的兩個(gè)邊設(shè)置，和/或，每個(gè)所述支撐部的長(zhǎng)度尺寸與其所在所述凹槽的邊長(zhǎng)相同。

在一個(gè)優(yōu)選或可選的實(shí)施方式中，所述支撐件的高度與所述凹槽的深度相同。

在一個(gè)優(yōu)選或可選的實(shí)施方式中，所述凹槽所在區(qū)域的底部設(shè)置有多個(gè)滲流孔，所述滲流孔以對(duì)稱(chēng)的方式設(shè)置。

在一個(gè)優(yōu)選或可選的實(shí)施方式中，每一所述凹槽所在區(qū)域的所述滲流孔的數(shù)量為6個(gè)，所述滲流孔在所述凹槽內(nèi)均勻分布。

在一個(gè)優(yōu)選或可選的實(shí)施方式中，所述凹槽以四邊形倒角的形狀設(shè)置。