[實用新型]掃描電鏡分析測試多功能樣品臺

有效

• 申請號: 202023343497.7
• 申請日: 2020-12-30
• 公開（公告）號: CN214097222U
• 公開（公告）日: 2021-08-31
• 發明（設計）人: 張玉檜;黃仁忠;謝迎春;張吉阜;張科杰;王高民;代明江
• 申請（專利權）人: 廣東省科學院新材料研究所
• 主分類號: G01N23/2204
• 分類號: G01N23/2204;G01N23/2251
• 代理公司: 北京超凡宏宇專利代理事務所(特殊普通合伙) 11463
• 代理人: 覃蛟

本實用新型公開了一種掃描電鏡分析測試多功能樣品臺，屬于掃描電鏡設備技術領域。該掃描電鏡分析測試多功能樣品臺包括支座和載物臺，支座具有至少兩個連接孔，載物臺的數量大于或等于2且不超過連接孔的數量，每個載物臺對應可拆卸連接于一個連接孔。載物臺選自EBSD測試載物臺、TKD測試載物臺、EDS測試載物臺或截面高倍形貌測試載物臺。該掃描電鏡分析測試多功能樣品臺能夠對多個樣本同時進行觀測，避免了EBSD、TKD、EDS或者高倍數形貌觀察樣品飄移問題，避免更換樣品，提高了測試效率。

技術領域

本實用新型涉及掃描電鏡設備領域，具體而言，涉及一種掃描電鏡分析測試多功能樣品臺。

背景技術

掃描電鏡由電子槍發射出電子束(直徑約50um)，在加速電壓的作用下經過磁透鏡系統匯聚，形成直徑為5nm的電子束，聚焦在樣品表面上，在第二聚光鏡和物鏡之間偏轉線圈的作用下，電子束在樣品上做光柵狀掃描，電子和樣品相互作用產生信號電子。這些信號電子經探測器收集并轉換為光子，再經過電信號放大器加以放大處理，最終成像在顯示系統上。微小的樣品振動和飄移都會引起圖像的大幅度振動，尤其是高分辨形貌觀察、能譜定量分析時測試區域的穩定性至關重要，TKD微小區域的測試要求更高。

目前，研究人員在用掃描電鏡測試不導電樣品時，為了獲取清晰的圖像會在測試前用鍍膜儀在待測樣品表面鍍上一層導電金屬元素(如Au、Cr等)，待測樣品的其它面仍然不導電，然后用導電膠布將待測樣品捆綁固定并連通待測表面與金屬樣品臺，使之導出多余的電荷避免放電現象，從而獲取清晰的二次電子圖像或背散射電子圖像。這種利用導電膠布粘貼捆綁待測樣品的方法容易破壞待測面的鍍金層，不利于將來二次補充測試。更重要的是，采用碳導電膠固定樣品和樣品臺、樣品臺和電鏡底座的物理連接無法解決樣品飄移的問題，測試的效率和準確性無法保障，同時容易導致樣品表面污染破壞，不利于二次補充測試。

鑒于此，特提出本申請。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種掃描電鏡分析測試多功能樣品臺，其能夠對多個樣本同時進行觀測，避免了EBSD、TKD、EDS或者高倍數形貌觀察樣品飄移問題，避免更換樣品，提高了測試效率。

本實用新型的實施例是這樣實現的：

第一方面，本實用新型提供一種掃描電鏡分析測試多功能樣品臺，包括支座和載物臺，支座具有至少兩個連接孔，載物臺的數量大于或等于2且不超過連接孔的數量，每個載物臺對應可拆卸連接于一個連接孔。

載物臺選自EBSD測試載物臺、TKD測試載物臺、EDS測試載物臺或截面高倍形貌測試載物臺。

在可選的實施方式中，載物臺與連接孔螺紋連接或卡接。

在可選的實施方式中，掃描電鏡分析測試多功能樣品臺還包括螺桿以及與螺桿匹配的螺母，支座的中心設有螺紋孔，螺桿的一端通過螺紋孔與支座連接，另一端用于插入電鏡底座中；螺母用于在螺桿的靠近載物臺的一端加強對載物臺的固定。

在可選的實施方式中，載物臺包括載物臺本體和至少一個樣品室，樣品室設置于載物臺本體的背離支座的一側。

在可選的實施方式中，樣品室的數量大于或等于2個且沿載物臺本體的周向等距間隔設置。

在可選的實施方式中，載物臺包括載物臺本體，載物臺本體的背離支座的一側設有凸臺。

在可選的實施方式中，凸臺沿載物臺本體的直徑方向設置且凸臺的長度與載物臺本體的直徑相等。

在可選的實施方式中，載物臺具有相對的第一面和第二面，第一面具有相連的第一段和第二段，第一段與第二面的距離相等，第二段與第二面的距離由靠近第一段的一端至遠離第一段的一端逐漸減小，且第一段與第二段連接處形成第一臺階，第二段遠離第一段的一端與第二面形成第二臺階。