[實(shí)用新型]掃描電鏡分析測(cè)試多功能樣品臺(tái)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202023343497.7
• 申請(qǐng)日: 2020-12-30
• 公開（公告）號(hào): CN214097222U
• 公開（公告）日: 2021-08-31
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張玉檜;黃仁忠;謝迎春;張吉阜;張科杰;王高民;代明江
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 廣東省科學(xué)院新材料研究所
• 主分類號(hào): G01N23/2204
• 分類號(hào): G01N23/2204;G01N23/2251
• 代理公司: 北京超凡宏宇專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 11463
• 代理人: 覃蛟

1.一種掃描電鏡分析測(cè)試多功能樣品臺(tái)，其特征在于，包括支座和載物臺(tái)，所述支座具有至少兩個(gè)連接孔，所述載物臺(tái)的數(shù)量大于或等于2且不超過所述連接孔的數(shù)量，每個(gè)所述載物臺(tái)對(duì)應(yīng)可拆卸連接于一個(gè)所述連接孔；

所述載物臺(tái)選自EBSD測(cè)試載物臺(tái)、TKD測(cè)試載物臺(tái)、EDS測(cè)試載物臺(tái)或截面高倍形貌測(cè)試載物臺(tái)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掃描電鏡分析測(cè)試多功能樣品臺(tái)，其特征在于，所述載物臺(tái)與所述連接孔螺紋連接或卡接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掃描電鏡分析測(cè)試多功能樣品臺(tái)，其特征在于，所述掃描電鏡分析測(cè)試多功能樣品臺(tái)還包括螺桿以及與所述螺桿匹配的螺母，所述支座的中心設(shè)有螺紋孔，所述螺桿的一端通過所述螺紋孔與所述支座連接，另一端用于插入電鏡底座中；所述螺母用于在所述螺桿的靠近所述載物臺(tái)的一端加強(qiáng)對(duì)所述載物臺(tái)的固定。

4.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一項(xiàng)所述的掃描電鏡分析測(cè)試多功能樣品臺(tái)，其特征在于，所述載物臺(tái)包括載物臺(tái)本體和至少一個(gè)樣品室，所述樣品室設(shè)置于所述載物臺(tái)本體的背離所述支座的一側(cè)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的掃描電鏡分析測(cè)試多功能樣品臺(tái)，其特征在于，所述樣品室的數(shù)量大于或等于2個(gè)且沿所述載物臺(tái)本體的周向等距間隔設(shè)置。

6.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一項(xiàng)所述的掃描電鏡分析測(cè)試多功能樣品臺(tái)，其特征在于，所述載物臺(tái)包括載物臺(tái)本體，所述載物臺(tái)本體的背離所述支座的一側(cè)設(shè)有凸臺(tái)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的掃描電鏡分析測(cè)試多功能樣品臺(tái)，其特征在于，所述凸臺(tái)沿所述載物臺(tái)本體的直徑方向設(shè)置且所述凸臺(tái)的長度與所述載物臺(tái)本體的直徑相等。

8.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一項(xiàng)所述的掃描電鏡分析測(cè)試多功能樣品臺(tái)，其特征在于，所述載物臺(tái)具有相對(duì)的第一面和第二面，所述第一面具有相連的第一段和第二段，所述第一段與所述第二面的距離相等，所述第二段與所述第二面的距離由靠近所述第一段的一端至遠(yuǎn)離所述第一段的一端逐漸減小，且所述第一段與所述第二段連接處形成第一臺(tái)階，所述第二段遠(yuǎn)離所述第一段的一端與所述第二面形成第二臺(tái)階。

9.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一項(xiàng)所述的掃描電鏡分析測(cè)試多功能樣品臺(tái)，其特征在于，所述載物臺(tái)包括載物臺(tái)本體，所述載物臺(tái)本體具有相對(duì)的第一面和第二面，所述第一面具有第一段和第二段，所述第一段與所述第二面的距離相等，所述第二段與所述第二面的距離由靠近所述第一段的一端至遠(yuǎn)離所述第一段的一端逐漸減小，所述第一段與所述第二段之間連接有向所述第二面凹設(shè)的卡槽，所述第一段與所述卡槽的連接處形成第一臺(tái)階，所述第二段遠(yuǎn)離所述第一段的一端與所述第二面形成第二臺(tái)階。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的掃描電鏡分析測(cè)試多功能樣品臺(tái)，其特征在于，所述載物臺(tái)還包括第一夾片和第二夾片，所述第一夾片的一端設(shè)有呈“Y”字形的定位槽，所述第一夾片的另一端具有凸出部，所述凸出部用于與所述第二面凹設(shè)的所述卡槽配合，所述第二夾片呈“Y”字形并對(duì)應(yīng)連接于所述第一夾片的所述定位槽中，所述卡槽的深度小于第一夾片的厚度，所述第一夾片的所述定位槽的長度大于所述第二夾片的長度以使所述第二夾片的端部與所述第一夾片的卡槽之間具有間隙以放置樣品。