[實用新型]一種掩膜治具

有效

• 申請號: 202023341460.0
• 申請日: 2020-12-30
• 公開（公告）號: CN214361675U
• 公開（公告）日: 2021-10-08
• 發明（設計）人: 不公告發明人
• 申請（專利權）人: 安徽華晟新能源科技有限公司
• 主分類號: C23C16/04
• 分類號: C23C16/04;H01L31/18
• 代理公司: 北京清大紫荊知識產權代理有限公司 11718
• 代理人: 彭一波

本申請實施例中提供了一種掩膜治具，屬于太陽能電池制造的技術領域，該掩膜治具具體包括填充層和掩膜板，掩膜板包括框架以及位于框架內的用于形成電極的掩膜圖形，掩膜圖形能覆蓋于透明導電層上方；填充層位于掩膜板的一側并與掩膜圖形中遮擋部對應，能與透明導電層接觸并用于填充透明導電層被掩膜板覆蓋區域表面的空隙。通過本申請的掩膜治具，改善了現有技術中掩膜虛掩或者溢鍍的問題，提高太陽能電池的發電效率。

技術領域

本申請涉及太陽能電池制造的領域，尤其是涉及一種掩膜治具。

背景技術

太陽能電池經過制絨、擴散及PECVD等工序后，已經制成PN結，可以在光照下產生電流，為了將產生的電流導出，需要在電池表面上制作正、負兩個電極。通常會通過絲網印刷方式在電池表面制備金屬柵線，形成正、負電極。

絲網印刷是采用壓印的方式將預定的圖形印刷在基板上，該工藝由電池背面銀漿印刷和電池正面銀漿多次印刷來完成。其工作原理為：利用絲網圖形部分網孔透過漿料，用刮刀在絲網的漿料部位施加一定壓力，同時朝絲網另一端移動。在移動中被刮刀從圖形部分的網孔中擠壓到基片上。由于漿料的粘性作用使印跡固著在一定范圍內，印刷中刮板始終與絲網印版和基片呈線性接觸，接觸線隨刮刀移動而移動，從而完成印刷行程。但是，印刷前需對銀漿進行稀釋和攪拌，攪拌不均會嚴重影響印刷效果，對銀漿粒徑大小要求較高，稀釋劑與透明導電層接觸對其造成污染。

實用新型內容

有鑒于此，本申請提供一種掩膜治具，用于使用物理氣相沉積法對太陽能電池基片的電極進行制備。

本申請提供的一種掩膜治具采用如下的技術方案：

一種掩膜治具，用于太陽能電池基片電極的制備，所述太陽能電池基片包括透明導電層，所述掩膜治具包括填充層和掩膜板，所述掩膜板包括框架以及位于所述框架內的用于形成電極的掩膜圖形，所述掩膜圖形能覆蓋于所述透明導電層上方；所述填充層位于所述掩膜板的一側并與所述掩膜圖形中遮擋部對應，能與所述透明導電層接觸并用于填充所述透明導電層被所述掩膜板覆蓋區域表面的空隙。

通過采用上述技術方案，使用填充層對掩膜板和透明導電層表面的金字塔之間的空隙進行填充，然后再進行物理氣相沉積法制備電極；使用氣相沉積的方法制備電極，可以解決對銀漿攪拌不均，影響印刷效果的問題，也可以減小稀釋劑與透明導電層接觸對其造成的污染。由于普通的掩膜板不能和透明導電層表面上的金字塔完全貼合，在沒有填充層的情況下，掩膜板和透明導電層之間存在空隙，會造成掩膜虛掩或者溢渡的情況發生。本申請使用填充層掩膜板和透明導電層表面之間空隙進行填充，減少掩膜虛掩的情況，增加入射到電池里的光能，提高太陽能電池的發電效率。

可選的，所述填充層和所述掩膜板之間還設有防護層，所述防護層與所述掩膜板上的所述遮擋部對應。

通過采用上述技術方案，防護層的設置，可以將金字塔的頂點和掩膜板隔開，減少掩膜板對透明導電層表面的金字塔的破壞。

可選的，所述填充層為柔性材料。

通過采用上述技術方案，柔性材料作為可變形的材料，可以不用特意制造出于金字塔完成吻合的形狀，而是通過柔性材料自身受壓后的變形，將金字塔和掩膜板之間的空隙填充，簡化掩膜治具的制造工藝。

可選的，所述柔性材料包括橡膠。

通過采用上述技術方案，橡膠具有一定的彈性和變形能力，受壓后的回彈力可以緊密的與透明導電層的表面接觸，提高填充層的填充效果。

可選的，所述防護層和所述填充層固定連接。

通過采用上述技術方案，填充層通過防護層固定在掩膜板上，固定掩膜板后，可以減小填充層在掩膜板和透明導電層之間的移動，減小造成填充層的跑偏的情況，減少對氣相沉積過程形成金屬柵線的影響。

可選的，所述防護層和所述填充層一體設置。