[實用新型]一種掩膜治具有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202023341460.0 | 申請日： | 2020-12-30 |
| 公開（公告）號： | CN214361675U | 公開（公告）日： | 2021-10-08 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 不公告發(fā)明人 | 申請（專利權(quán)）人： | 安徽華晟新能源科技有限公司 |
| 主分類號： | C23C16/04 | 分類號： | C23C16/04;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京清大紫荊知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11718 | 代理人： | 彭一波 |
| 地址： | 242074 安徽省宣城市宣城經(jīng)*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 掩膜治具 | ||
1.一種掩膜治具，用于太陽能電池基片的電極的制備，所述太陽能電池基片包括透明導電層，其特征在于：所述掩膜治具包括填充層和掩膜板，所述掩膜板包括框架以及位于所述框架內(nèi)的用于形成電極的掩膜圖形，所述掩膜圖形能覆蓋于所述透明導電層上方，所述填充層位于所述掩膜板的一側(cè)并與所述掩膜圖形中遮擋部對應(yīng)，能與所述透明導電層接觸并用于填充所述透明導電層被所述掩膜板覆蓋區(qū)域表面的空隙。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩膜治具，其特征在于，所述填充層和所述掩膜板之間還設(shè)有防護層，所述防護層與所述掩膜板上的所述遮擋部對應(yīng)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的掩膜治具，其特征在于，所述填充層為柔性材料。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的掩膜治具，其特征在于，所述柔性材料包括橡膠。
5.根據(jù)權(quán)利要求2-4任一項所述的掩膜治具，其特征在于，所述防護層和所述填充層固定連接。
6.根據(jù)權(quán)利要求2-4任一項所述的掩膜治具，其特征在于，所述防護層和所述填充層一體設(shè)置。
7.根據(jù)權(quán)利要求2-4任一項所述的掩膜治具，其特征在于，所述防護層和所述填充層的厚度之和的范圍為0.1-2mm。
8.根據(jù)權(quán)利要求1-4任一項所述的掩膜治具，其特征在于，所述填充層用于與所述透明導電層接觸的側(cè)面上設(shè)有凹槽。
9.根據(jù)權(quán)利要求1-4任一項所述的掩膜治具，其特征在于，所述掩膜板上的所述框架至少覆蓋所述太陽能電池基片的邊緣。
10.根據(jù)權(quán)利要求1-4任一項所述的掩膜治具，其特征在于，所述太陽能電池基片為異質(zhì)結(jié)電池，所述掩膜治具適用于所述異質(zhì)結(jié)電池在物理氣相沉積工藝中在所述透明導電層上方制備柵線電極。
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C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴散法，化學轉(zhuǎn)化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態(tài)化合物分解且表面材料的反應(yīng)產(chǎn)物不留存于鍍層中的化學鍍覆，例如化學氣相沉積
C23C16-01 .在臨時基體上，例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機材料為特征的
