[實用新型]一種濕法用承液槽體

有效

• 申請號: 202023340708.1
• 申請日: 2020-12-31
• 公開（公告）號: CN213936133U
• 公開（公告）日: 2021-08-10
• 發明（設計）人: 孫嘉藝;鄧信甫;國天增;劉大威;陳丁堃
• 申請（專利權）人: 上海至純潔凈系統科技股份有限公司;至微半導體(上海)有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 北京沁優知識產權代理有限公司 11684
• 代理人: 劉富艷

1.一種濕法用承液槽體，包括槽體(1)，所述槽體(1)設置容納空間內，所述槽體(1)底壁面上開設有連接孔(2)，所述連接孔(2)用以與排液管相互連通，其特征在于：所述槽體(1)內水平設置有橫板(3)，所述橫板(3)將所述槽體(1)分割成第一容納腔(4)和第二容納腔(5)，所述第一容納腔(4)位于所述第二容納腔(5)上方，所述槽體(1)相對的兩內側面上分別設置有第一導流部(6)和第二導流部(7)，且所述第一導流部(6)與所述第二導流部(7)均位于所述第二容納腔(5)內，所述第一導流部(6)和所述第二導流部(7)均用以將液體導向所述連接孔(2)，所述橫板(3)上開設有第一導流孔(8)和第二導流孔(9)，所述第一導流孔(8)與所述第一導流部(6)位于同一側，所述第二導流孔(9)與所述第二導流部(7)位于同一側，所述橫板(3)頂面上設置有導向塊(16)，所述導向塊(16)上包括第一引流面(17)和第二引流面(18)，所述第一引流面(17)用以將液體導向所述第一導流孔(8)，所述第二引流面(18)用以將液體導向所述第二導流孔(9)，液體通過所述第一導流孔(8)流向所述第一導流部(6)，液體通孔所述第二導流孔(9)流向所述第二導流部(7)。

2.根據權利要求1所述的一種濕法用承液槽體，其特征在于：所述第一導流部(6)包括傾斜設置的第一導流板(10)，所述第二導流部(7)包括傾斜設置的第二導流板(11)，所述第一導流板(10)頂部與所述第二導流板(11)頂部之間的距離大于所述第一導流板(10)底部與所述第二導流板(11)底部之間的距離。

3.根據權利要求2所述的一種濕法用承液槽體，其特征在于：所述第一導流板(10)和所述第二導流板(11)上均開設有若干個導流槽(12),所述導流槽(12)用以將液體導向所述連接孔(2)。

4.根據權利要求3所述的一種濕法用承液槽體，其特征在于：所述第一導流板(10)上每相鄰的兩個所述導流槽(12)之間的間距相同，所述第二導流板(11) 上每相鄰的兩個所述導流槽(12)之間的間距相同。

5.根據權利要求4所述的一種濕法用承液槽體，其特征在于：所述第一導流板(10)與所述槽體(1)底壁面之間一體形成有第一過渡部(14)，所述第二導流板(11)與所述槽體(1)底壁面之一體形成有第二過渡部(15)，所述第一過渡部(14)用以將第一導流板(10)上導流槽(12)內的液體導向所述槽體(1)底壁面，所述第二過渡部(15)用以第二導流板(11)上的導流槽(12)內的液體導向所述槽體(1)底壁面。

6.根據權利要求2所述的一種濕法用承液槽體，其特征在于：所述第一導流板(10)與所述第二導流板(11)均由聚偏二氟乙烯PVDF或者聚四氟乙烯PTFE制成。

7.根據權利要求6所述的一種濕法用承液槽體，其特征在于：所述第一導流板(10)與所述第二導流板(11)的表面粗糙度小于3.2Ra。

8.根據權利要求1所述的一種濕法用承液槽體，其特征在于：所述槽體(1)的頂部固定連接有擋流板(13)，所述擋流板(13)與所述第一導流部(6)位于同一側。