[實用新型]掩膜版板架

有效

• 申請號: 202023338371.0
• 申請日: 2020-12-31
• 公開（公告）號: CN214393898U
• 公開（公告）日: 2021-10-15
• 發明（設計）人: 毛汛
• 申請（專利權）人: 無錫迪思微電子有限公司
• 主分類號: B25B11/00
• 分類號: B25B11/00
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 譚玲玲

本實用新型提供了一種掩膜版板架。掩膜版板架包括：板架本體，具有第一安裝部、第二安裝部及第一配合部，第一安裝部用于安裝掩膜版；推板組件，包括推板、止擋結構及第二配合部，第二配合部和止擋結構均設置在推板上，推板可滑動地設置在第二安裝部內；其中，止擋結構具有伸入至第一安裝部內且與掩膜版限位止擋的止擋狀態和回縮至第一安裝部外的初始狀態；當止擋結構處于止擋狀態時，第一配合部與第二配合部配合，以連接推板組件和板架本體。本實用新型有效地解決了現有技術中掩膜版與掩膜版框架的拆裝較為困難的問題。

技術領域

本實用新型涉及半導體技術領域，具體而言，涉及一種掩膜版板架。

背景技術

掩膜版是半導體技術領域的光刻工藝中不可缺少的生產部件。掩模版上承載有微細設計圖形，光線透過它，把設計圖形透射在光刻膠上，以完成半導體器件的制備。掩模版的性能直接決定了光刻工藝的質量，在半導體技術生產中具有承上啟下的關鍵作用，是產業鏈中不可或缺的重要部件。顯然，掩模版應避免出現致命缺陷，如果出現則需及時修復這些缺陷。在對掩膜版進行修補的過程中，需對掩膜版進行固定。而現有的掩膜版的固定方式不利于掩膜版的拆裝，增大了工作人員的勞動強度，降低了生產效率，難以滿足既能牢固固定掩膜版又能便于拆卸的需求。

實用新型內容

本實用新型的主要目的在于提供一種掩膜版板架，以解決上述提及的至少一個技術問題。

為了實現上述目的或其他目的，本實用新型提供了一種掩膜版板架，包括：板架本體，具有第一安裝部、第二安裝部及第一配合部，第一安裝部用于安裝掩膜版；推板組件，包括推板、止擋結構及第二配合部，第二配合部和止擋結構均設置在推板上，推板可滑動地設置在第二安裝部內；其中，止擋結構具有伸入至第一安裝部內且與掩膜版限位止擋的止擋狀態和回縮至第一安裝部外的初始狀態；當止擋結構處于止擋狀態時，第一配合部與第二配合部配合，以連接推板組件和板架本體。

進一步地，第一安裝部具有第一內表面、第二內表面、第三內表面及第四內表面，第一內表面與第二內表面相互平行且相對設置，第三內表面與第四內表面相互平行且相對設置，第一內表面與第二內表面之間具有第一距離D₁，第三內表面與第四內表面之間具有第二距離D₂；其中，在止擋結構由初始狀態切換至止擋狀態的過程中，止擋結構朝向第一內表面運動第三距離D₃，第一距離D₁、第二距離D₂及第三距離D₃之間滿足以下關系：0.6≤D₁/(D₂-D₃)≤1.1。

進一步地，板架本體包括：框架，具有第一安裝部；連接板，設置在框架上且與框架之間形成第二安裝部，第一配合部設置在連接板上；連接板具有與第二安裝部連通的過孔，止擋結構可滑動地設置在過孔內；其中，當止擋結構處于初始狀態時，止擋結構與過孔的孔壁限位止擋。

進一步地，第一配合部為一個，第二配合部為一個；或者，第一配合部為多個，第二配合部為多個，多個第一配合部與多個第二配合部一一對應地設置。

進一步地，第一配合部為凹部，第二配合部為凸起，推板具有第一安裝凹部，凸起可活動地設置在第一安裝凹部內，推板組件還包括：第一彈性結構，第一彈性結構設置在第一安裝凹部內且與凸起連接，以用于向凸起施加朝向連接板一側運動的彈性力。

進一步地，掩膜版板架還包括：第二彈性結構，第二彈性結構設置在推板與板架本體之間，以用于向推板施加朝向遠離第一安裝部一側運動的彈性力。

進一步地，推板還具有第二安裝凹部，止擋結構可滑動地設置在第二安裝凹部內，推板組件還包括：第三彈性結構，第三彈性結構設置在第二安裝凹部內且與止擋結構連接，以用于向止擋結構施加朝向掩膜版一側運動的彈性力；其中，第一安裝凹部為兩個，第二安裝凹部位于兩個第一安裝凹部之間。