[實(shí)用新型]掩膜版板架有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202023338371.0 | 申請(qǐng)日: | 2020-12-31 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN214393898U | 公開(kāi)(公告)日: | 2021-10-15 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 毛汛 | 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人: | 無(wú)錫迪思微電子有限公司 |
| 主分類(lèi)號(hào): | B25B11/00 | 分類(lèi)號(hào): | B25B11/00 |
| 代理公司: | 北京康信知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11240 | 代理人: | 譚玲玲 |
| 地址: | 214135 江蘇省無(wú)錫*** | 國(guó)省代碼: | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書(shū): | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū): | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 掩膜版板架 | ||
1.一種掩膜版板架,其特征在于,包括:
板架本體(10),具有第一安裝部(11)、第二安裝部(12)及第一配合部(13),所述第一安裝部(11)用于安裝掩膜版;
推板組件(20),包括推板(21)、止擋結(jié)構(gòu)(22)及第二配合部(23),所述第二配合部(23)和所述止擋結(jié)構(gòu)(22)均設(shè)置在所述推板(21)上,所述推板(21)可滑動(dòng)地設(shè)置在所述第二安裝部(12)內(nèi);
其中,所述止擋結(jié)構(gòu)(22)具有伸入至所述第一安裝部(11)內(nèi)且與所述掩膜版限位止擋的止擋狀態(tài)和回縮至所述第一安裝部(11)外的初始狀態(tài);當(dāng)所述止擋結(jié)構(gòu)(22)處于所述止擋狀態(tài)時(shí),所述第一配合部(13)與所述第二配合部(23)配合,以連接所述推板組件(20)和所述板架本體(10)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩膜版板架,其特征在于,所述第一安裝部(11)具有第一內(nèi)表面(111)、第二內(nèi)表面(112)、第三內(nèi)表面(113)及第四內(nèi)表面(114),所述第一內(nèi)表面(111)與所述第二內(nèi)表面(112)相互平行且相對(duì)設(shè)置,所述第三內(nèi)表面(113)與所述第四內(nèi)表面(114)相互平行且相對(duì)設(shè)置,所述第一內(nèi)表面(111)與所述第二內(nèi)表面(112)之間具有第一距離D1,所述第三內(nèi)表面(113)與所述第四內(nèi)表面(114)之間具有第二距離D2;其中,在所述止擋結(jié)構(gòu)(22)由所述初始狀態(tài)切換至所述止擋狀態(tài)的過(guò)程中,所述止擋結(jié)構(gòu)(22)朝向所述第一內(nèi)表面(111)運(yùn)動(dòng)第三距離D3,所述第一距離D1、所述第二距離D2及所述第三距離D3之間滿足以下關(guān)系:0.6≤D1/(D2-D3)≤1.1。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩膜版板架,其特征在于,所述板架本體(10)包括:
框架(14),具有所述第一安裝部(11);
連接板(15),設(shè)置在所述框架(14)上且與所述框架(14)之間形成所述第二安裝部(12),所述第一配合部(13)設(shè)置在所述連接板(15)上;
所述連接板(15)具有與所述第二安裝部(12)連通的過(guò)孔(151),所述止擋結(jié)構(gòu)(22)可滑動(dòng)地設(shè)置在所述過(guò)孔(151)內(nèi);其中,當(dāng)所述止擋結(jié)構(gòu)(22)處于所述初始狀態(tài)時(shí),所述止擋結(jié)構(gòu)(22)與所述過(guò)孔(151)的孔壁限位止擋。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩膜版板架,其特征在于,所述第一配合部(13)為一個(gè),所述第二配合部(23)為一個(gè);或者,所述第一配合部(13)為多個(gè),所述第二配合部(23)為多個(gè),多個(gè)所述第一配合部(13)與多個(gè)所述第二配合部(23)一一對(duì)應(yīng)地設(shè)置。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的掩膜版板架,其特征在于,所述第一配合部(13)為凹部,所述第二配合部(23)為凸起,所述推板(21)具有第一安裝凹部(211),所述凸起可活動(dòng)地設(shè)置在所述第一安裝凹部(211)內(nèi),所述推板組件(20)還包括:
第一彈性結(jié)構(gòu)(24),所述第一彈性結(jié)構(gòu)(24)設(shè)置在所述第一安裝凹部(211)內(nèi)且與所述凸起連接,以用于向所述凸起施加朝向所述連接板(15)一側(cè)運(yùn)動(dòng)的彈性力。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩膜版板架,其特征在于,所述掩膜版板架還包括:
第二彈性結(jié)構(gòu)(30),所述第二彈性結(jié)構(gòu)(30)設(shè)置在所述推板(21)與所述板架本體(10)之間,以用于向所述推板(21)施加朝向遠(yuǎn)離所述第一安裝部(11)一側(cè)運(yùn)動(dòng)的彈性力。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的掩膜版板架,其特征在于,所述推板(21)還具有第二安裝凹部(212),所述止擋結(jié)構(gòu)(22)可滑動(dòng)地設(shè)置在所述第二安裝凹部(212)內(nèi),所述推板組件(20)還包括:
第三彈性結(jié)構(gòu)(25),所述第三彈性結(jié)構(gòu)(25)設(shè)置在所述第二安裝凹部(212)內(nèi)且與所述止擋結(jié)構(gòu)(22)連接,以用于向所述止擋結(jié)構(gòu)(22)施加朝向所述掩膜版一側(cè)運(yùn)動(dòng)的彈性力;其中,所述第一安裝凹部(211)為兩個(gè),所述第二安裝凹部(212)位于兩個(gè)所述第一安裝凹部(211)之間。
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