[實用新型]半導體自動化源鈦清洗設備

有效

• 申請號: 202023332152.1
• 申請日: 2020-12-31
• 公開（公告）號: CN213816085U
• 公開（公告）日: 2021-07-27
• 發明（設計）人: 董興玉;劉民;浦愛東
• 申請（專利權）人: 常州容導精密裝備有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.半導體自動化源鈦清洗設備，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的外壁設置有清洗盆(2)，且底座(1)的外壁固定連接有安裝架(3)，所述安裝架(3)的內壁安裝有固定桿(4)，且固定桿(4)的外壁固定連接有固定塊(5)，所述安裝架(3)的內壁設置有伺服電機(6)，且伺服電機(6)的輸出軸通過聯軸器活動連接有轉盤(7)，所述轉盤(7)的外壁固定連接有轉桿(8)，且轉桿(8)的外壁設置有調節齒輪(9)，所述轉桿(8)的一端固定連接有調節塊(10)，且調節塊(10)的外壁固定連接有調節桿(11)，所述調節桿(11)的外壁固定連接有傳動塊(12)，且傳動塊(12)的外壁設置有傳動齒輪(13)，所述傳動塊(12)的外壁安裝有攪拌桿(14)，所述底座(1)的外壁設置有鼓風機(15)，且鼓風機(15)的輸出端活動連接有送風管(16)。

2.根據權利要求1所述的半導體自動化源鈦清洗設備，其特征在于：所述底座(1)的外壁設置有限位管(17)，且限位管(17)的形狀大小與送風管(16)的形狀大小均相互匹配。

3.根據權利要求1所述的半導體自動化源鈦清洗設備，其特征在于：所述安裝架(3)的內壁設置有安裝條(18)，且安裝條(18)的外壁安裝有安裝環(19)，所述安裝環(19)的外壁設置有調節螺栓(20)，且調節螺栓(20)的外壁螺紋連接有調節螺母(21)。

4.根據權利要求1所述的半導體自動化源鈦清洗設備，其特征在于：所述固定塊(5)的外壁開設有通孔，所述轉桿(8)通過通孔與調節塊(10)活動連接。

5.根據權利要求1所述的半導體自動化源鈦清洗設備，其特征在于：所述傳動齒輪(13)以調節齒輪(9)的垂直中線為對稱軸對稱設置，且傳動齒輪(13)與調節齒輪(9)相互水平設置，所述傳動齒輪(13)的形狀大小與調節齒輪(9)的形狀大小均相互匹配。

6.根據權利要求1所述的半導體自動化源鈦清洗設備，其特征在于：所述攪拌桿(14)為S形攪拌桿，且攪拌桿(14)以轉桿(8)的垂直中線為對稱軸對稱設置。

7.根據權利要求2所述的半導體自動化源鈦清洗設備，其特征在于：所述限位管(17)的一端貫穿安裝架(3)的內壁并延伸至安裝架(3)的內壁，且限位管(17)通過安裝環(19)與安裝架(3)固定連接。