[實用新型]一種用于半導體晶體除雜的裝置

有效

• 申請號: 202023316150.3
• 申請日: 2020-12-31
• 公開（公告）號: CN213691974U
• 公開（公告）日: 2021-07-13
• 發明（設計）人: 徐永帥
• 申請（專利權）人: 深圳天成先進材料科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/687
• 代理公司: 深圳茂達智聯知識產權代理事務所(普通合伙) 44394
• 代理人: 徐文軍

1.一種用于半導體晶體除雜的裝置，包括進氣管(1)，其特征在于：所述進氣管(1)上固定安裝有圓形隔板(2)，所述進氣管(1)的一端伸進半導體晶體固定槽(20)內，所述半導體晶體固定槽(20)開設在除雜箱(3)內，所述半導體晶體固定槽(20)上轉動連接有頂蓋(19)，所述頂蓋(19)的一側轉動連接有電動伸縮桿(13)，所述電動伸縮桿(13)的底部轉動連接在除雜箱(3)上，所述頂蓋(19)上轉動連接有蝸輪(15)，所述蝸輪(15)與蝸桿(14)嚙合，所述蝸桿(14)的外壁與固定筒(21)的內壁轉動連接，所述固定筒(21)固定連接在頂蓋(19)上，所述蝸桿(14)穿過固定筒(21)的一端與電機二(22)的輸出端固定安裝，所述電機二(22)固定安裝在頂蓋(19)上，所述蝸輪(15)內固定安裝有螺紋筒一(17)，所述螺紋筒一(17)內螺紋連接有螺紋管(11)，所述螺紋管(11)上固定安裝有電機一(16)，所述電機一(16)的輸出端與轉動連接在螺紋管(11)內部的轉動桿(10)的一端固定安裝，所述半導體晶體固定槽(20)內部的頂壁上固定連接有限位塊一(12)，所述螺紋管(11)伸進半導體晶體固定槽(20)內一端的外表面上開設有與限位塊一(12)滑動連接的限位槽(28)，所述轉動桿(10)伸出螺紋管(11)的一端上固定安裝有夾持裝置(29)，所述半導體晶體固定槽(20)與雜質吸附槽(4)之間開設有通孔，所述雜質吸附槽(4)開設在半導體晶體固定槽(20)右方的除雜箱(3)內，所述雜質吸附槽(4)與出氣口(5)之間也開設有通孔，所述出氣口(5)開設在雜質吸附槽(4)右方的除雜箱(3)內。

2.根據權利要求1所述的一種用于半導體晶體除雜的裝置，其特征在于：所述除雜箱(3)的橫截面為半圓柱形。

3.根據權利要求1所述的一種用于半導體晶體除雜的裝置，其特征在于：所述頂蓋(19)與蝸輪(15)之間通過軸承座(18)轉動連接。

4.根據權利要求1所述的一種用于半導體晶體除雜的裝置，其特征在于：所述出氣口(5)上方出氣處是一個長度與半圓柱直徑相等的長方體。

5.根據權利要求1所述的一種用于半導體晶體除雜的裝置，其特征在于：所述夾持裝置(29)包括固定板(9)，所述固定板(9)固定安裝在轉動桿(10)下，所述固定板(9)一側的底部固定連接有螺紋筒二(23)，所述固定板(9)另一側的底部滑動連接有螺紋筒三(24)，所述螺紋筒二(23)與螺紋筒三(24)的內部均與螺紋桿(8)螺紋連接，所述螺紋桿伸出螺紋筒三(24)的一端上固定連接有限位塊二(25)，所述螺紋筒二(23)與螺紋筒三(24)下均轉動連接有鉸接桿(7)，兩個所述鉸接桿(7)的中部轉動連接，所述鉸接桿(7)的一端固定連接有夾板(6)。

6.根據權利要求5所述的一種用于半導體晶體除雜的裝置，其特征在于：所述固定板(9)的底部與螺紋筒三(24)之間通過滑槽(27)與滑塊(26)滑動連接。