[實用新型]穩定型光柵尺有效
| 申請號： | 202023314934.2 | 申請日： | 2020-12-31 |
| 公開（公告）號： | CN214223987U | 公開（公告）日： | 2021-09-17 |
| 發明（設計）人： | 巫孟良;胡勇;吳國良;蔣南 | 申請（專利權）人： | 廣東萬濠精密儀器股份有限公司 |
| 主分類號： | G01B11/00 | 分類號： | G01B11/00 |
| 代理公司： | 廈門市新華專利商標代理有限公司 35203 | 代理人： | 吳成開;徐勛夫 |
| 地址： | 523000 廣東省東*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 穩定 光柵尺 | ||
【權利要求書】：
1.一種穩定型光柵尺，包括有基板和設置于基板之表面上的多個刻度光柵；其特征在于：每一刻度光柵均包括有下氧化鉻層、鉻層和上氧化鉻層；該下氧化鉻層結合固定在基板的表面上，該鉻層結合固定在下氧化鉻層的表面上，該上氧化鉻層結合固定在鉻層的表面上。
2.根據權利要求1所述的穩定型光柵尺，其特征在于：所述下氧化鉻層通過真空濺鍍的方式結合固定在基板的表面上。
3.根據權利要求1所述的穩定型光柵尺，其特征在于：所述鉻層通過真空濺鍍的方式結合固定在下氧化鉻層的表面上。
4.根據權利要求1所述的穩定型光柵尺，其特征在于：所述上氧化鉻層通過真空濺鍍的方式結合固定在鉻層的表面上。
5.根據權利要求1所述的穩定型光柵尺，其特征在于：所述鉻層的厚度大于下氧化鉻層的厚度，且下氧化鉻層和上氧化鉻層的厚度相同。
6.根據權利要求1所述的穩定型光柵尺，其特征在于：所述基板為二氧化硅材質。
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于廣東萬濠精密儀器股份有限公司，未經廣東萬濠精密儀器股份有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/202023314934.2/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇：耐磨型光柵尺
- 下一篇：一種新型煤氣水封逆止閥的平衡啟閉裝置
