[實用新型]一種新型半導體器件用測試針及其組件

有效

• 申請號: 202023289063.3
• 申請日: 2020-12-31
• 公開（公告）號: CN214794937U
• 公開（公告）日: 2021-11-19
• 發明（設計）人: 閔哲
• 申請（專利權）人: 蘇州朗之睿電子科技有限公司
• 主分類號: G01R1/067
• 分類號: G01R1/067;G01R1/04;H01L21/66;G01R31/26
• 代理公司: 蘇州銘浩知識產權代理事務所(普通合伙) 32246
• 代理人: 朱斌兵

本實用新型公開了一種新型半導體器件用測試針及其組件，其包括測試針本體，測試針本體的中部設置有定位孔；測試針本體的上側設置有一個針尖支撐臂，針尖支撐臂的自由端設置有測試針尖，針尖支撐臂的根部與測試針本體固定連接；測試針本體的下側設置有一個針腳支撐臂，針腳支撐臂與測試針本體呈夾角設置，針腳支撐臂的自由端處設置有測試針腿，針腳支撐臂的根部與測試針本體固定連接；針尖支撐臂和針腳支撐臂與測試針本體間隔設置。本實用新型的半導體器件用測試針具有與測試點接觸良好，測試穩定的特點，能夠提升良品率、生產效率，并降低成本；且適用壽命較長，能夠滿足大電流產品的測試要求。

技術領域

本實用新型涉及半導體器件電性能檢測技術領域，特別是涉及一種新型半導體器件用測試針及其組件。

背景技術

在半導體芯片大規模研發及生產過程中均需要各類性能檢測，芯片測試座為測試中的關鍵部件，然而測試座的核心在于測試時與芯片直接接觸的測試針部分，測試針的壽命，性能 將直接影響測試效果及準確性以及生產效率和成本控制.

目前常見的測試片主要有兩種，一種是單根固定平行朝上接觸芯片管腳，其接觸性及測試時準確性以及壽命效果不太理想 ；另一種是垂直于芯片管腳的測試針，因材質的受限不能滿足客戶一些大電流測試。為了有必要研發一種新型的半導體器件用測試裝置。

實用新型內容

為此，本實用新型要解決的技術問題是克服現有半導體器件檢測針存在的上述不足，進而提供一種測試穩定、壽命長，能夠使用大電流產品測試的新型半導體器件用測試針及其組件。

為實現上述目的，本實用新型采用以下技術方案：

一種新型半導體器件用測試針，其包括測試針本體，所述測試針本體的中部設置有至少一個定位孔；所述測試針本體的上側設置有一個針尖支撐臂，所述針尖支撐臂的自由端設置有測試針尖，所述針尖支撐臂的根部與所述測試針本體固定連接；所述測試針本體的下側設置有一個針腳支撐臂，所述針腳支撐臂與所述測試針本體呈夾角設置，所述針腳支撐臂的自由端處設置有測試針腿，所述針腳支撐臂的根部與所述測試針本體固定連接；所述針尖支撐臂和所述針腳支撐臂與所述測試針本體間隔設置。

優選的，所述針尖支撐臂的自由端沿所述測試針本體的上側邊沿的方向延伸出所述測試針本體。

優選的，所述針尖支撐臂的延伸出所述測試針本體的長度為所述測試針本體的長度的三分之一至二分之一。

優選的，所述針尖支撐臂及所述針腳支撐臂的根部與所述測試針本體連接呈一體結構。

優選的，所述測試針本體上設置有兩個所述定位孔。

優選的，所述針尖支撐臂及所述針腳支撐臂的厚度與所述測試針本體的厚度相同，且所述針尖支撐臂和所述針腳支撐臂的兩側面分別與所述測試針本體的兩側面齊平。

優選的，所述測試針本體及所述針尖支撐臂、所述針腳支撐臂的表面涂覆有一層保護層。

優選的，所述針腳支撐臂的延伸方向與所述測試針本體的下側邊沿之間的夾角為20-50度。

優選的，所述針腳支撐臂與所述針尖支撐臂向所述測試針本體的同一端的方向延伸，或分別向所述測試針本體的兩端延伸。

一種新型半導體器件用測試針組件，其由兩片上述新型半導體器件用測試針重疊貼合組成，其中一片所述新型半導體器件用測試針上的所述針尖支撐臂及所述針腳支撐臂向所述測試針本體的同一端延伸，另一片所述新型半導體器件用測試針上的所述針尖支撐臂及所述針腳支撐臂分別向所述測試針本體的兩端延伸；在兩片所述新型半導體器件用測試針的貼合面之間設置有一層絕緣層。

本實用新型的有益效果：

本實用新型的新型半導體器件用測試針具有與測試點接觸良好，測試穩定的特點，能夠提升良品率、生產效率，并降低成本；且適用壽命較長，能夠滿足大電流產品的測試要求。