[實(shí)用新型]一種氣體置換控制系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202023281421.6
• 申請(qǐng)日: 2020-12-29
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN214496472U
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-10-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李發(fā)忠;于金鳳;王和風(fēng)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 安徽中飛科技有限公司
• 主分類號(hào): C23C16/44
• 分類號(hào): C23C16/44;C23C16/455;C23C16/52
• 代理公司: 廣州三環(huán)專利商標(biāo)代理有限公司 44202
• 代理人: 顏希文;黃詩(shī)彬

本實(shí)用新型涉及氣體控制技術(shù)領(lǐng)域，公開(kāi)了一種氣體置換控制系統(tǒng)，包括鋼瓶及反應(yīng)爐，所述鋼瓶通過(guò)第一連接管路與所述反應(yīng)爐連接，所述第一連接管路上設(shè)置有第一手動(dòng)閥；還包括電動(dòng)三通閥。當(dāng)所述電動(dòng)三通閥處于第一工作狀態(tài)時(shí)，所述第一氣口與所述第二氣口連通，所述第一氣口與所述第三氣口斷開(kāi)，以使第一連接管路內(nèi)的氣體依次沿所述第二連接管路及所述排氣管路排出；當(dāng)所述電動(dòng)三通閥處于第二工作狀態(tài)時(shí)，所述第一氣口與所述第二氣口斷開(kāi)，所述第一氣口與所述第三氣口連通，以使惰性氣體依次沿所述進(jìn)氣管路及所述第二連接管路進(jìn)入所述第一連接管路內(nèi)。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及氣體控制技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種氣體置換控制系統(tǒng)。

背景技術(shù)

目前，無(wú)機(jī)膜薄材料可以根據(jù)CVD法(化學(xué)氣相沉積法)，利用硒化鋅或硫化鋅等氣相化合物進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)制得。因此，采用鋼瓶等容器儲(chǔ)存硒化鋅或硫化鋅等氣相化合物，鋼瓶通過(guò)連接管路通入反應(yīng)爐進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)。由于制作各種無(wú)機(jī)薄膜所需要的原料是不相同，因此在向反應(yīng)爐通入新的反應(yīng)氣體前，需要先將連接管路內(nèi)原有的反應(yīng)氣體排出，目前常用的操作是向連接管路通入惰性氣體(如氬氣)來(lái)完成氣體置換的目的。

傳統(tǒng)的氣體置換方式為：采用一根進(jìn)氣管路和一根排氣管路分別連通連接管路，進(jìn)氣管路和排氣管路上均設(shè)置有手動(dòng)閥門(mén)，通過(guò)分別控制進(jìn)氣管路和排氣管路的手動(dòng)閥門(mén)，充氣時(shí)，惰性氣體通過(guò)進(jìn)氣管路向連接管路內(nèi)通入惰性氣體，一段時(shí)間后，將連接管路內(nèi)的氬氣及原有的反應(yīng)氣體通過(guò)排氣管路排出，重復(fù)多次操作即可將完全排除連接管路內(nèi)原有的反應(yīng)氣體。因此，上述氣體置換操作需要人工現(xiàn)場(chǎng)作業(yè)，故存在以下缺點(diǎn)：

(1)各種開(kāi)關(guān)或手動(dòng)閥門(mén)的數(shù)量較多，操作過(guò)程容易混淆，容易引起事故的發(fā)生。

(2)人工難以精準(zhǔn)控制手動(dòng)閥門(mén)的擰開(kāi)量，難以控制進(jìn)氣管或排內(nèi)的氣壓，容易導(dǎo)致進(jìn)氣或排氣不徹底。

(3)硒化鋅或硫化鋅等屬于有毒氣體，當(dāng)發(fā)生毒氣體泄漏時(shí)，對(duì)操作員會(huì)存在較大的安全隱患；

(4)長(zhǎng)時(shí)間手動(dòng)擰動(dòng)閥門(mén)會(huì)對(duì)閥門(mén)造成較大的磨損，需要定期維護(hù)或更換，導(dǎo)致維修成本較大。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的是提供一種氣體置換控制系統(tǒng)，操作簡(jiǎn)便，可避免人工現(xiàn)場(chǎng)操作，提高使用安全性，以及降低用人成本。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供了一種氣體置換控制系統(tǒng)，包括鋼瓶及反應(yīng)爐，所述鋼瓶通過(guò)第一連接管路與所述反應(yīng)爐連接，所述第一連接管路上設(shè)置有第一手動(dòng)閥，還包括電動(dòng)三通閥；

所述電動(dòng)三通閥具有第一氣口、第二氣口及第三氣口，所述第一氣口通過(guò)第二連接管路與所述第一連接管路連接，且所述第二連接管上設(shè)有第二手動(dòng)閥；所述第二氣口連接有排氣管路，且所述排氣管路上設(shè)有真空發(fā)生器；所述第三氣口連接有用于供惰性氣體流入的進(jìn)氣管路；

當(dāng)所述電動(dòng)三通閥處于第一工作狀態(tài)時(shí)，所述第一氣口與所述第二氣口連通，所述第一氣口與所述第三氣口斷開(kāi)，以使第一連接管路內(nèi)的氣體依次沿所述第二連接管路及所述排氣管路排出；

當(dāng)所述電動(dòng)三通閥處于第二工作狀態(tài)時(shí)，所述第一氣口與所述第二氣口斷開(kāi)，所述第一氣口與所述第三氣口連通，以使惰性氣體依次沿所述進(jìn)氣管路及所述第二連接管路進(jìn)入所述第一連接管路內(nèi)。

進(jìn)一步地，還包括多條第三連接管路，多條第三連接管路相互并聯(lián)后與所述第一連接管路連接；

所述鋼瓶的數(shù)量為多個(gè)，多個(gè)所述鋼瓶分別與所述多條第三連接管路一一連接。

進(jìn)一步地，所述第三連接管路上設(shè)有第三壓力調(diào)節(jié)閥，該第三壓力調(diào)節(jié)閥連接有第三電子報(bào)警器。

進(jìn)一步地，所述鋼瓶的底部設(shè)有用于檢測(cè)所述鋼瓶重量的電子秤。

進(jìn)一步地，所述第一連接管路上設(shè)有第一壓力調(diào)節(jié)閥，該第一壓力調(diào)節(jié)閥連接有第一電子報(bào)警器。