[實用新型]一種氣體置換控制系統(tǒng)有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202023281421.6 | 申請日: | 2020-12-29 |
| 公開(公告)號: | CN214496472U | 公開(公告)日: | 2021-10-26 |
| 發(fā)明(設計)人: | 李發(fā)忠;于金鳳;王和風 | 申請(專利權)人: | 安徽中飛科技有限公司 |
| 主分類號: | C23C16/44 | 分類號: | C23C16/44;C23C16/455;C23C16/52 |
| 代理公司: | 廣州三環(huán)專利商標代理有限公司 44202 | 代理人: | 顏希文;黃詩彬 |
| 地址: | 239000 安徽省*** | 國省代碼: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 氣體 置換 控制系統(tǒng) | ||
2.如權利要求1所述的氣體置換控制系統(tǒng),其特征在于,還包括多條第三連接管路,多條第三連接管路相互并聯(lián)后與所述第一連接管路連接;
所述鋼瓶的數量為多個,多個所述鋼瓶分別與所述多條第三連接管路一一連接。
3.如權利要求2所述的氣體置換控制系統(tǒng),其特征在于,所述第三連接管路上設有第三壓力調節(jié)閥,該第三壓力調節(jié)閥連接有第三電子報警器。
4.如權利要求1-3任一項所述的氣體置換控制系統(tǒng),其特征在于,所述鋼瓶的底部設有用于檢測所述鋼瓶重量的電子秤。
5.如權利要求1所述的氣體置換控制系統(tǒng),其特征在于,所述第一連接管路上設有第一壓力調節(jié)閥,該第一壓力調節(jié)閥連接有第一電子報警器。
6.如權利要求1所述的氣體置換控制系統(tǒng),其特征在于,所述排氣管路上設有第二壓力調節(jié)閥。
7.如權利要求1所述的氣體置換控制系統(tǒng),其特征在于,所述第一連接管路上設有第一單向閥。
8.如權利要求1所述的氣體置換控制系統(tǒng),其特征在于,所述排氣管路上設有第二單向閥。
9.如權利要求1所述的氣體置換控制系統(tǒng),其特征在于,所述進氣管路上設有第三單向閥。
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C23C 對金屬材料的鍍覆;用金屬材料對材料的鍍覆;表面擴散法,化學轉化或置換法的金屬材料表面處理;真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態(tài)化合物分解且表面材料的反應產物不留存于鍍層中的化學鍍覆,例如化學氣相沉積
C23C16-01 .在臨時基體上,例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機材料為特征的





