[實用新型]一種外延工藝腔體用冷卻風機的測試固定裝置

有效

• 申請號: 202023253258.2
• 申請日: 2020-12-29
• 公開（公告）號: CN213749124U
• 公開（公告）日: 2021-07-20
• 發明（設計）人: 林旭斌
• 申請（專利權）人: 上海悅匠實業有限公司
• 主分類號: G01M99/00
• 分類號: G01M99/00;G01R31/34
• 代理公司: 上海恒慧知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 31317
• 代理人: 張寧展

本實用新型公開一種外延工藝腔體用冷卻風機的測試固定裝置，支架的底部固定有底座、頂部固定有頂座，頂座上固定有待測冷卻風機、熱交換器和控制器，底座上固定有第一循環風道，第一循環風道的長度方向兩側分別固定連通有第二循環風道和第三循環風道，第二循環風道的頂部與穿設頂座的待測冷卻風機的出風口連接，第三循環風道的頂部與穿設頂座的熱交換器的一側連接，熱交換器的另一側與待測冷卻風機的進風口連接，待測冷卻風機上設置有震動傳感器，待測冷卻風機的出風口處設置有風速傳感器和風壓傳感器，控制器內集成有變頻器，變頻器、震動傳感器、風速傳感器和風壓傳感器均與控制器電連接，變頻器與待測冷卻風機電連接。

技術領域

本實用新型涉及外延工藝腔體用的冷卻風機技術領域，特別是涉及一種外延工藝腔體用冷卻風機的測試固定裝置。

背景技術

半導體外延工藝需要極高的溫度環境，為了保證生產的安全與連續性需要使用冷卻風機和空氣-水熱交換器來冷卻工藝腔體的外殼及加熱元器件。生產的連續性及重復可靠性要求所使用器件必須達到必要的技術參數。

實際生產維護中，只有在備用的冷卻風機完成替換后進行工藝生產時才能通過工藝參數的反應和實時溫度控制系統的數據反饋才能判斷備用風機的工作是否正常，當備用風機本身有缺陷的情況的造成生產的中斷，并會危及設備的安全生產。

實用新型內容

本實用新型針對現有技術存在的問題和不足，提供一種外延工藝腔體用冷卻風機的測試固定裝置。

本實用新型是通過下述技術方案來解決上述技術問題的：

本實用新型提供一種外延工藝腔體用冷卻風機的測試固定裝置，其特點在于，其包括支架，所述支架的底部固定有底座、頂部固定有頂座，所述頂座上固定有待測冷卻風機、熱交換器和控制器，所述底座上固定有第一循環風道，所述第一循環風道的長度方向兩側分別固定連通有第二循環風道和第三循環風道，所述第二循環風道的頂部與穿設頂座的待測冷卻風機的出風口連接，所述第三循環風道的頂部與穿設頂座的熱交換器的一側連接，所述熱交換器的另一側與待測冷卻風機的進風口連接，所述待測冷卻風機上設置有震動傳感器，所述待測冷卻風機的出風口處設置有風速傳感器和風壓傳感器，所述控制器內集成有變頻器，所述變頻器、震動傳感器、風速傳感器和風壓傳感器均與控制器電連接，所述變頻器與待測冷卻風機電連接。

較佳地，所述第一循環風道內頂部和底部中間位置處均開設有導向槽，所述第一循環風道的一側面上開設有導向孔，所述頂部和底部導向槽間嵌設有調節風門，所述調節風門沿著第一循環風道寬度方向可調節地穿設導向孔。

在符合本領域常識的基礎上，上述各優選條件，可任意組合，即得本實用新型各較佳實例。

本實用新型的積極進步效果在于：

通過本測試固定裝置，如實反應備用風機的技術參數，對備用風機維修后的測試和備用風機的狀態評估提供可靠的手段，減少風機問題導致的生產停滯，并為石英工藝腔體溫度控制提供技術數據。

附圖說明

圖1為本實用新型較佳實施例的外延工藝腔體用冷卻風機的測試固定裝置的結構示意圖。

具體實施方式

為使本實用新型實施例的目的、技術方案和優點更加清楚，下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動的前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。