[實用新型]一種外延工藝腔體用冷卻風機的測試固定裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202023253258.2 | 申請日： | 2020-12-29 |
| 公開（公告）號： | CN213749124U | 公開（公告）日： | 2021-07-20 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 林旭斌 | 申請（專利權(quán)）人： | 上海悅匠實業(yè)有限公司 |
| 主分類號： | G01M99/00 | 分類號： | G01M99/00;G01R31/34 |
| 代理公司： | 上海恒慧知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 張寧展 |
| 地址： | 201600 上海*** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 外延 工藝 體用 冷卻 風機 測試 固定 裝置 | ||
1.一種外延工藝腔體用冷卻風機的測試固定裝置，其特征在于，其包括支架，所述支架的底部固定有底座、頂部固定有頂座，所述頂座上固定有待測冷卻風機、熱交換器和控制器，所述底座上固定有第一循環(huán)風道，所述第一循環(huán)風道的長度方向兩側(cè)分別固定連通有第二循環(huán)風道和第三循環(huán)風道，所述第二循環(huán)風道的頂部與穿設(shè)頂座的待測冷卻風機的出風口連接，所述第三循環(huán)風道的頂部與穿設(shè)頂座的熱交換器的一側(cè)連接，所述熱交換器的另一側(cè)與待測冷卻風機的進風口連接，所述待測冷卻風機上設(shè)置有震動傳感器，所述待測冷卻風機的出風口處設(shè)置有風速傳感器和風壓傳感器，所述控制器內(nèi)集成有變頻器，所述變頻器、震動傳感器、風速傳感器和風壓傳感器均與控制器電連接，所述變頻器與待測冷卻風機電連接。
2.如權(quán)利要求1所述的外延工藝腔體用冷卻風機的測試固定裝置，其特征在于，所述第一循環(huán)風道內(nèi)頂部和底部中間位置處均開設(shè)有導(dǎo)向槽，所述第一循環(huán)風道的一側(cè)面上開設(shè)有導(dǎo)向孔，所述頂部和底部導(dǎo)向槽間嵌設(shè)有調(diào)節(jié)風門，所述調(diào)節(jié)風門沿著第一循環(huán)風道寬度方向可調(diào)節(jié)地穿設(shè)導(dǎo)向孔。
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