[實用新型]一種IGBT軸套抓取用真空吸嘴有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202023245798.6 | 申請日: | 2020-12-30 |
| 公開(公告)號: | CN213546295U | 公開(公告)日: | 2021-06-25 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 劉照和;舒小平 | 申請(專利權(quán))人: | 嘉源昊澤半導(dǎo)體(蘇州)有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/683 | 分類號: | H01L21/683;H01L29/739 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 215300 江蘇省蘇*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 igbt 軸套 取用 真空 | ||
1.一種IGBT軸套抓取用真空吸嘴,包括軸套(1)以及用于真空吸取所述軸套(1)的真空吸嘴本體(2),其特征在于:所述軸套(1)上設(shè)有法蘭沿部(3),所述真空吸嘴本體(2)上設(shè)有真空套筒(4),所述真空套筒(4)的下表面上設(shè)有多個等距分布的第一真空階梯吸孔(5),所述真空套筒(4)內(nèi)設(shè)有空腔(6),所述空腔(6)內(nèi)設(shè)有若干個通氣槽(7),若干個所述通氣槽(7)均設(shè)置在所述真空套筒(4)的內(nèi)表面上,多個所述第一真空階梯吸孔(5)均與若干個所述通氣槽(7)相通,多個所述第一真空階梯吸孔(5)內(nèi)均螺紋安裝有真空吸盤(8),所述真空吸盤(8)與所述法蘭沿部(3)吸附連接,所述真空套筒(4)的上端表面上設(shè)有第二真空階梯孔(9),所述第二真空階梯孔(9)內(nèi)設(shè)有螺紋槽(10),所述第二真空階梯孔(9)設(shè)有真空接頭(11),所述真空接頭(11)與所述螺紋槽(10)螺紋連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種IGBT軸套抓取用真空吸嘴,其特征在于:所述真空套筒(4)的下端設(shè)有環(huán)形真空吸罩(12),所述環(huán)形真空吸罩(12)的內(nèi)圓直徑大于所述法蘭沿部(3)的外圓直徑。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種IGBT軸套抓取用真空吸嘴,其特征在于:所述真空吸盤(8)設(shè)有若干個,若干個所述真空吸盤(8)均為橡膠真空吸盤。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種IGBT軸套抓取用真空吸嘴,其特征在于:所述第一真空階梯吸孔(5)包括第一真空吸孔(51)和第二真空吸孔(52),所述第一真空吸孔(51)設(shè)置在所述真空套筒(4)的下端表面上,所述第二真空吸孔(52)位于所述第一真空吸孔(51)的上方,所述第一真空吸孔(51)與所述真空吸盤(8)螺紋連接,所述第二真空吸孔(52)與所述通氣槽(7)相通。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種IGBT軸套抓取用真空吸嘴,其特征在于:所述第二真空階梯孔(9)包括第三真空通孔(91)和第四真空通孔(92),所述第三真空通孔(91)與所述空腔(6)相通,所述第四真空通孔(92)設(shè)置在所述真空套筒(4)的上端表面上,所述螺紋槽(10)設(shè)置在所述第四真空通孔(92)的內(nèi)表面上。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種IGBT軸套抓取用真空吸嘴,其特征在于:所述第四真空通孔(92)的下端表面上設(shè)置有密封圈(13)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種IGBT軸套抓取用真空吸嘴,其特征在于:所述真空接頭(11)的外圓表面上設(shè)有限位環(huán)(14),所述限位環(huán)(14)的下端表面與所述真空套筒(4)的上端表面相接觸。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





